全球氣候變化是當(dāng)今世界遇到的挑戰(zhàn)，全產(chǎn)業(yè)生態(tài)是實(shí)現(xiàn)碳中和的關(guān)鍵，企業(yè)碳中和目標(biāo)的達(dá)成離不開上下游企業(yè)之間的共同努力，需要與供應(yīng)商和客戶協(xié)同合作，優(yōu)勢互補(bǔ)。
由SEMI、長鑫科技集團(tuán)股份有限公司、安徽省合肥市高新區(qū)半導(dǎo)體投資促進(jìn)中心、投資促進(jìn)局聯(lián)合舉辦的EHSS專委會(huì)之節(jié)能降碳工作組研討會(huì)于2023年9月21日在合肥市高新區(qū)管委會(huì)圓滿召開。
為探索該行業(yè)能源、雙碳發(fā)展動(dòng)向及技術(shù)研究，嘗試打造產(chǎn)業(yè)-政府-高校-學(xué)界多維度的技術(shù)交流平臺(tái)，深度研究半導(dǎo)體行業(yè)能源、碳排特點(diǎn)，并爭取建立行業(yè)內(nèi)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。SEMI很榮幸邀請(qǐng)到合肥市、經(jīng)開區(qū)、高新區(qū)相關(guān)部門，東南大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)、安徽省質(zhì)量和標(biāo)準(zhǔn)化研究院，以及各半導(dǎo)體晶圓制造廠、關(guān)鍵制程設(shè)備企業(yè)等集成電路核心企業(yè)專家代表蒞臨研討會(huì)，共同就節(jié)能問題展開研討與交流。
蒞臨會(huì)議的嘉賓單位：
合肥市生態(tài)環(huán)境局、合肥市發(fā)改委、合肥經(jīng)開區(qū)生態(tài)環(huán)境分局、合肥高新區(qū)半導(dǎo)體投資促進(jìn)中心、合肥高新區(qū)生態(tài)環(huán)境分局、合肥高新區(qū)投資促進(jìn)局、東南大學(xué)碳研院（長三角碳中和戰(zhàn)略發(fā)展研究院）、合肥工業(yè)大學(xué)資源與環(huán)境工程學(xué)院、安徽省質(zhì)量和標(biāo)準(zhǔn)化研究院
蒞臨會(huì)議的半導(dǎo)體企業(yè)（排名不分先后）：
長鑫科技集團(tuán)股份有限公司
長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
合肥晶合集成電路股份有限公司
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
拓荊創(chuàng)益（沈陽）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
至純科技集團(tuán)
睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
新凱來半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
應(yīng)用材料投資（中國）
珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司
施耐德電氣(中國)有限公司
西門子中國有限公司
米格實(shí)驗(yàn)室
上海欣項(xiàng)電子科技有限公司
上海異科特檢測技術(shù)有限公司
萊茵技術(shù)（上海）有限公司
東南大學(xué)長三角碳中和戰(zhàn)略發(fā)展研究院副院長、江蘇能源研究會(huì)常務(wù)副理事長王培紅教授首先介紹了中共中央國務(wù)院發(fā)布的我國雙碳行動(dòng)頂層設(shè)計(jì)；進(jìn)而，基于碳排放量與GDP及能耗量的關(guān)系，提出高質(zhì)量發(fā)展有4大重點(diǎn)，即：降低單位產(chǎn)品能耗、提升單位產(chǎn)品增加值、提升非碳電力占比、提升電力消費(fèi)比重；最后，結(jié)合極致能效工程，介紹了設(shè)備級(jí)節(jié)能、企業(yè)級(jí)節(jié)能核園區(qū)級(jí)節(jié)能的要點(diǎn)。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司產(chǎn)品安全部部長龔志峰先生介紹基于SEMI S23，從能源、具有Rest模式和Sleep模式的子系統(tǒng)部件、產(chǎn)能提升等方面做技術(shù)層面梳理，尋找節(jié)能方案。北方華創(chuàng)嘗試將SEMI S6 指南與節(jié)能減排進(jìn)行創(chuàng)新性結(jié)合。
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 質(zhì)量環(huán)境健康安全部 經(jīng)理 高倩先生介紹中微公司連續(xù)發(fā)布ESG報(bào)告，開展碳排放信息披露（CDP），深化ESG內(nèi)部治理及環(huán)境信息透明化。中微將可持續(xù)設(shè)計(jì)理念有機(jī)融入產(chǎn)品研發(fā)過程，推出雙反應(yīng)臺(tái)的CCP、ICP刻蝕設(shè)備，可靈活裝置多達(dá)三個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔（六個(gè)反應(yīng)臺(tái)），可節(jié)省約30%制造成本，設(shè)備占地面積小，輸出能量高，加工成本低。硅通孔刻蝕（ TSV ）產(chǎn)品開發(fā)中，優(yōu)化氣體注入腔體方式的設(shè)計(jì)，從而降低單位晶圓硅通孔刻蝕的工藝氣體用量。中微公司愿攜手產(chǎn)業(yè)鏈合作伙伴，不斷強(qiáng)化產(chǎn)品創(chuàng)新，低碳運(yùn)營，共同致力于綠色、可持續(xù)的未來。
米格實(shí)驗(yàn)室 技術(shù)總監(jiān)孫吟龍先生介紹SEMI S23 《半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)能源、動(dòng)力與物料使用效率指南》。SEMI S23 是半導(dǎo)體行業(yè)評(píng)價(jià)工藝機(jī)臺(tái)能耗及規(guī)范測試方法與要求的主要參考依據(jù)。孫吟龍先生分別從定義、測量方法與要求、等效能源與功率的轉(zhuǎn)化系數(shù)、Rest與Sleep模式、子系統(tǒng)與零部件、設(shè)定目標(biāo)與改善、監(jiān)控與報(bào)告、改善藍(lán)圖、一般降耗措施、客觀與主觀評(píng)價(jià)法等方面對(duì)S23進(jìn)行了介紹。
珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司 執(zhí)行副總 劉波女士介紹SEMI《設(shè)備及子系統(tǒng)的節(jié)能模式通訊規(guī)范》。SEMI E167 設(shè)備節(jié)能模型通訊規(guī)范，定義了為了降低生產(chǎn)設(shè)備能耗率，主機(jī)和生產(chǎn)設(shè)備之間的消息服務(wù)和行為。實(shí)現(xiàn)工廠主機(jī)管理生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入和退出休眠模式的能力，以降低能源消耗率。
SEMI E175 設(shè)備子系統(tǒng)節(jié)能模型通訊規(guī)范，定義了為降低生產(chǎn)設(shè)備能耗率，設(shè)備主控程序與子系統(tǒng)之間的通訊規(guī)范，實(shí)現(xiàn)設(shè)備主控程序管理設(shè)備子各系統(tǒng)進(jìn)入和退出節(jié)能模式的能力，通過使用子系統(tǒng)休眠眠級(jí)別轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)節(jié)能模式(降低能耗率)運(yùn)行。劉波女士還介紹了設(shè)備節(jié)能狀態(tài)模型、子系統(tǒng)節(jié)能狀態(tài)模型。
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司軟件部執(zhí)行總監(jiān)曹涵先生從控制軟件角度介紹降低能源消耗的方法。與會(huì)專家一同探討了優(yōu)化晶圓調(diào)度，減少設(shè)備空閑時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，優(yōu)化控溫算法，智能判斷采用的節(jié)能策略等可行方法。
安徽中科新源半導(dǎo)體科技有限公司副總裁 陸斌先生介紹半導(dǎo)體直冷機(jī)技術(shù)基礎(chǔ)，對(duì)比TE Chiller 與壓縮機(jī)Chiller 控溫情況、用電量對(duì)比案例、成本節(jié)約案例。節(jié)能型直冷機(jī)具有更好的CD控制并能最小化第一晶圓效應(yīng)、不需要使用氟利昂，真正的綠色環(huán)保，不使用壓縮機(jī)，沒有耗電的浸沒式加熱器和大型交流泵電機(jī)。
全場嘉賓參與Fab工廠端節(jié)能計(jì)劃與實(shí)施 圓桌環(huán)節(jié)，探討制程機(jī)臺(tái)能耗水平監(jiān)視通過運(yùn)行數(shù)據(jù)的技術(shù)方法，確定工作組近期將基于SEMI 國際半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，構(gòu)建適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。合肥市生態(tài)環(huán)境局局長丁志松先生表示行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)很重要，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條長，需要每個(gè)工藝環(huán)節(jié)都攜手參與進(jìn)節(jié)能工作，丁局長非常贊賞SEMI EHSS專委會(huì)開啟標(biāo)準(zhǔn)研究工作。