對(duì)于絕大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)的操作人員而言，設(shè)備的通訊功能只有Enable/Disable 或者 打開/關(guān)閉的開關(guān)兩種狀態(tài)，當(dāng)遇到其他狀態(tài)時(shí)，就無法做出正確的判斷和處理。這篇文章將會(huì)介紹SEMI E30 GEM 標(biāo)準(zhǔn)中的通訊狀態(tài)機(jī)的各種狀態(tài)，狀態(tài)下的設(shè)備行為和狀態(tài)切換的條件。

一． GEM通訊狀態(tài)模型

通訊狀態(tài)機(jī)(Communication State Model)規(guī)范建立通訊的規(guī)則。下圖摘自GEM標(biāo)準(zhǔn)，定義了設(shè)備GEM接口在應(yīng)用層的通訊狀態(tài)模型。

（摘自：SEMI E30 Figure 4 Communication State Model Diagram）

狀態(tài)包括：

• DISABLED：通訊功能禁用（關(guān)閉）
• ENABLED： 通訊功能啟用（打開）
  • NOT COMMUNICATING： 未通訊
    • HOST-INITIATED CONNECT：Host啟動(dòng)連接
      • WAIT CR FROM HOST： 等待主機(jī)連接請(qǐng)求
    • EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：設(shè)備啟動(dòng)連接
      • WAIT DELAT：等待延遲
      • WAIT CRA： 等待連接確認(rèn)
    • COMMUNICATING： 通訊中

二． GEM設(shè)備各通訊狀態(tài)下的行為

DISABLED

設(shè)備與主機(jī)通訊關(guān)閉。在這種狀態(tài)下，與主機(jī)的SECS-II通信不存在。如果操作人員從ENABLED切換到DISABLED，所有SECS-II通信應(yīng)立即停止。任何排隊(duì)發(fā)送的消息將被丟棄，所有對(duì)任何開放的交易和對(duì)話的進(jìn)一步操作將被終止。

ENABLED

設(shè)備與主機(jī)通訊打開，包括COMMUNICATING和NOT COMMUNICATING兩個(gè)子狀態(tài)。無論何時(shí)啟用通信，無論是在系統(tǒng)初始化期間還是通過操作人員的選擇，就會(huì)首先進(jìn)入 NOT COMMUNICATING的子狀態(tài)，直到正式建立通信。

ENABLED/NOT COMMUNICATING

當(dāng)通訊處于NOT COMMUNICATING狀態(tài)時(shí)，除S1F13、S1F14和S9Fx外，不得發(fā)送其他任何消息。設(shè)備應(yīng)丟棄除S1F13或S1F14(建立通信確認(rèn))以外的任何來自主機(jī)的消息。它還應(yīng)定期嘗試通過發(fā)出S1,F13來建立與主機(jī)的通信，直到通信建立成功。NOT COMMUNICATING 狀態(tài)有兩個(gè)并發(fā)的子狀態(tài)，HOST-INITIATED CONNECT和EQUIPMENT- INITIATED CONNECT，

NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：

該狀態(tài)有WAIT CRA 和 WAIT Delay 兩個(gè)子狀態(tài)。在任何進(jìn)入NOT COMMUNICATING狀態(tài)時(shí)，只要EQUIPMENT-INITIATED CONNECT第一次變?yōu)榛顒?dòng)狀態(tài)，就會(huì)發(fā)生向WAIT CRA的轉(zhuǎn)換，CommDelay定時(shí)器被設(shè)置為超時(shí)，并立即嘗試發(fā)送S1,F13。

? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT CRA-已發(fā)送建立通信請(qǐng)求。?設(shè)備等待主機(jī)確認(rèn)請(qǐng)求。

? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT DELAY-發(fā)生連接事務(wù)失敗。?已初始化CommDelay 定時(shí)器。?設(shè)備開始等待定時(shí)器超時(shí)。

NOT COMMUNICATING /HOST-INITIATED CONNECT：

該狀態(tài)描述了在NOT COMMUNICATING狀態(tài)下，主機(jī)發(fā)起的S1,F13的響應(yīng)行為。

? NOT COMMUNICATING/HOST-INITIATED CONNECT/WAIT CR FROM HOST-設(shè)備等待主機(jī)發(fā)出S1、F13。?如果收到S1,F13，則嘗試發(fā)送COMMACK = 0的S1,F14。

ENABLED/COMMUNICATING

通信已建立完成。設(shè)備可以接收來自主機(jī)的任何消息，包括S1、F13。 當(dāng)設(shè)備進(jìn)行通信時(shí)，應(yīng)保持與主機(jī)的SECS通信。

三． GEM各通訊狀態(tài)之間切換的觸發(fā)條件

通訊狀態(tài)機(jī)的變化中，只有ENABLED和DISABLED是需要由操作人員，通過啟動(dòng)/關(guān)閉軟件或在軟件界面上發(fā)起開啟/關(guān)閉 GEM功能操作來實(shí)現(xiàn)。其余狀態(tài)的變化，是由設(shè)備和工廠主機(jī)之間的消息交互實(shí)現(xiàn)的。下列為常見其他狀態(tài)到COMMUNICATING狀態(tài)的觸發(fā)條件。

1. DISABLED->COMMUNICATING

操作人員在設(shè)備端啟用GEM功能。

2. WAIT CR FROM HOST->COMMUNICATING

設(shè)備收到主機(jī)發(fā)出的S1F13消息，回復(fù)S1F14，并進(jìn)入COMMUNICATING狀態(tài)。

3. WAIT CRA ->COMUNICATING.

設(shè)備發(fā)出S1F13，收到主機(jī)回復(fù)消息S1F14. 進(jìn)入COMMUNICATING狀態(tài)。

4. WAIT DELAY->COMMUNICATING.

設(shè)備等待CommDelay 定時(shí)器觸發(fā)，發(fā)出S1F13消息，進(jìn)入WAIT CRA狀態(tài)。

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