GEM標準是半導體行業(yè)普遍遵循的自動化標準，所有符合GEM標準的設(shè)備都可以與實現(xiàn)GEM協(xié)議的工廠主機兼容。因此，從工廠主機的角度來看，所有的設(shè)備都具備基本相同的模型和行為。不同供應商，不同型號，不同版本的設(shè)備的區(qū)別就體現(xiàn)在設(shè)備所特有的事件，報警，變量，支持的遠程指令，配方格式等等。在設(shè)備需要對接進入自動化生產(chǎn)的時候，工廠的開發(fā)人員通過設(shè)備配備的SECS GEM手冊，獲取設(shè)備的以上特性描述信息，開發(fā)具體的自動化數(shù)據(jù)收集和控制消息。但是使用SECS GEM手冊還是有不足之處，主要表現(xiàn)在：
- SECS GEM手冊的更新往往跟不上設(shè)備軟件的升級，信息更新滯后；
- SECS GEM 手冊沒有統(tǒng)一的格式，通常為PDF或Word文檔格式，需要開發(fā)人員閱讀后獲取更新信息；
為了解決這些問題，SEMI標準的修訂者們也在對標準持續(xù)做完善。除了發(fā)布標準SEMI E172 （SEDD, SECS Equipment Data Dictionary），將設(shè)備的特性描述格式標準化。此外，SECS GEM標準陸續(xù)增加了一系列接口消息，使得工廠可以隨時通過向設(shè)備發(fā)送指令，查詢到設(shè)備當前的特性定義。本篇文章接下來的內(nèi)容，整理了自1982年至今，SEMI 標準中定義的設(shè)備自我描述接口功能的進化歷程。
E005-00-0082 版本接口
- S5F5 (List Alarm Request) / S5F6 (List Alarm Data)
- S7F19 (Current EPPD Request) / S7F20 (Current EPPD Data)
E005-00-0092 版本新增接口
- S1F11 (Status Variable NameList Request) / S1F12 Status Variable NameList Reply
- S2F29 (Equipment Constant NameList Request) / S2F30 (Equipment Constant NameList)
- S5F7 (List Enabled Alarm Request) / S5F8 (List Enabled Alarm Data)
E005-00-0813版本新增接口
- S1F21 (Data Variable NameList Request) / S1F22 (Data Variable NameList Data)
- S1F23 (Collection Event NameList Request) / S1F24 (Collection Event NameList Data)
E005-00-0821 版本新增接口
- S2F51 (Request List of Report Identifiers) / S2F52 (Return List of Report Identifiers)
- S2F53 (Request List of Report Definitions) / S2F54 (Return List of Report Definitions)
- S2F55 (Request Event Report Links) / S2F56 (Return Event Report Links)
- S2F57 (Request List of Enabled Events) / S2F58 (Return List of Enabled Events)
- S2F59 (Request Selected Spooling Stream and Functions) / S2F60 (Return Selected Spooling Stream and Functions)
- S2F61 (Request List of Trace Identifiers) / S2F62 (Return List of Trace Identifiers)
- S2F63 (Request Trace Definitions) / S2F63 (Return Trace Definitions)
Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導體及泛半導體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標準，支持SEMI E30 GEM所有功能。支持E005-00-0821 標準中包含的所有設(shè)備端自我描述接口。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。
如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。