SEMI E87 (Specification For Carrier Management) 定義包括半導(dǎo)體設(shè)備在處理人工傳輸和自動傳輸Carrier到達(dá)/離開過程中，工廠主機(jī)和設(shè)備的狀態(tài)和行為。其中Carrier 的驗證是關(guān)鍵的一環(huán)。Carrier的驗證，是為了確保在工廠自動傳輸物料，自動執(zhí)行作業(yè)任務(wù)時，設(shè)備進(jìn)行加工的Carrier(Carrier ID) ?和Carrier 里的物料位置是正確的。

本篇文章將圍繞Carrier ID 和 Carrier SlotMap的驗證，闡述Carrier ID和Carrier SlotMap的狀態(tài)，驗證方法，以及衍生出的基本流程場景。

1.??? 驗證信息

Carrier ID 和 Carrier SlotMap.

2.??? 驗證執(zhí)行者

設(shè)備，或者工廠主機(jī)。

3.??? 四種驗證方式：

• Host-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
• Equipment-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
• Host-Based Carrier ID Verification + Equipment-Based SlotMap Verification
• Equipment -Based Carrier ID Verification + Equipment -Based SlotMap Verification

通常每個工廠會根據(jù)工廠本身的自動化策略，在以上四種驗證方式組合中選擇一種，但并不能排除工廠會在同一臺設(shè)備使用一種以上驗證組合。到這里，很多人就會有同樣的疑問：工廠主機(jī)和設(shè)備是通過什么來約定使用哪種驗證方式呢？答案是：服務(wù)命令。

首先，驗證的核心是將從工廠MES獲取的Carrier信息與從Carrier 本身讀取到的信息進(jìn)行對比。那么驗證的執(zhí)行者就是首先同時掌握以上兩方信息的主體。設(shè)備從Carrier讀到的信息以事件的方式發(fā)送給工廠主機(jī)（S6F11）,? 工廠主機(jī)從MES獲取的Carrier信息則是通過Carrier 服務(wù)命令發(fā)送給設(shè)備(S3F17)。根據(jù)工廠主機(jī)下達(dá)S3F17服務(wù)命令的不同時間點和命令內(nèi)容，工廠主機(jī)和設(shè)備可以動態(tài)的決定由哪一方來完成Carrier ID和 SlotMap 的驗證。

?我們以第一種驗證方式為例，梳理一下流程：

1. 首先，設(shè)備在沒有收到任何Carrier 服務(wù)命令的情況下，檢測到Carrier的到達(dá)。
2. 設(shè)備從Carrier上安裝的Tag中讀取到Carrier ID。
3. 設(shè)備將讀到的Carrier ID上報給工廠主機(jī)。
4. 工廠主機(jī)向MES 查詢該設(shè)備及裝載臺上調(diào)度指定的Carrier 信息。
5. 工廠主機(jī)驗證Carrier ID。一旦匹配，向設(shè)備發(fā)送S3F17 ProceedWithCarrier。
6. 設(shè)備接受到S3F17 ProceedWithCarrier，認(rèn)為Carrier ID 已經(jīng)得到確認(rèn)。繼續(xù)執(zhí)行Carrier SlotMap的掃描。
7. 設(shè)備將讀到的SlotMap上報給工廠主機(jī)。
8. 工廠主機(jī)向MES 查詢該設(shè)備及裝載臺上調(diào)度指定的Carrier Slot Map信息，并與設(shè)備上報SlotMap進(jìn)行比對。一旦匹配，設(shè)備發(fā)送S3F17 ProceedWithCarrier。
9. 設(shè)備接受到S3F17 ProceedWithCarrier，認(rèn)為Carrier SlotMap 已經(jīng)得到確認(rèn)。

至此 E87 Carrier的驗證流程結(jié)束。可以看到，在此流程中，工廠主機(jī)使用了兩次ProceedWithCarrier指令來對Carrier ID和 Slot Map進(jìn)行驗證。關(guān)于其他幾種驗證方式，篇幅所限，我們列舉出了使用的服務(wù)指令，不做詳細(xì)分解介紹。如果想要了解更多細(xì)節(jié)，歡迎聯(lián)系我們。

4.??? Carrier驗證中使用的服務(wù)命令

• Host-based Carrier ID & Host-based Slot map驗證
• ProceedWithCarrer（僅包含Carrier ID，不包含SlotMap）
• ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
• Host-based Carrier ID & Equipment-based Slot map驗證
• ProceedWithCarrer（包含Carrier ID 及SlotMap信息）
• Equipment-based Carrier ID & Host-based Slot map 驗證
• Bind/CarrierNotification（包含Carrier ID，但不包含SlotMap信息）
• ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
• Equipment-based Carrier ID & Equipment-based Slot map 驗證
• Bind/CarrierNotification （包含Carrier ID 及SlotMap信息）.

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