通訊狀態(tài)機

通訊狀態(tài)機規(guī)范了設(shè)備與主機之間的通訊規(guī)則。

通訊狀態(tài)機的狀態(tài)包括：

1. Disabled：通訊功能被禁用。
2. Enabled：通訊功能已啟用。
   • 2.1 Not Communicating：設(shè)備與主機未建立通訊。
     • 2.1.1 Host-Initiated Connect：主機發(fā)起連接請求。
       • Wait CR From Host：等待主機的連接請求確認。
     • 2.1.2 Equipment-Initiated Connect：設(shè)備發(fā)起連接請求。
       • 2.1.2.1 Wait Delay：等待通訊延遲計時器到期。
       • 2.1.2.2 Wait CRA：等待通訊請求確認。
   • 2.2 Communicating：設(shè)備與主機正在通訊。

通訊狀態(tài)機的核心是CommDelay Timer，用于測量嘗試發(fā)送S1,F13消息的間隔時間。該定時器的長度由用戶可配置的設(shè)備常量EstablishCommunicationsTimeout決定。

詳細解讀請參考本站文章 http://www.ztrww.cn/secs-gem-communicationstate/

控制狀態(tài)機

控制狀態(tài)機定義了主機與設(shè)備之間的協(xié)作級別，并指定了操作員在不同控制級別上的交互方式。

狀態(tài)包括：

1. Online：設(shè)備在線，主機可以遠程控制設(shè)備。
   • Local：設(shè)備由操作員本地控制，主機不能使用引起物理移動或啟動處理的遠程命令，但可以上傳和下載配方。
   • Remote：設(shè)備由主機遠程控制，主機可以完全控制設(shè)備，操作員只能進行緊急操作。
2. Offline：設(shè)備離線，主機無法控制設(shè)備。設(shè)備的操作由操作員在控制臺進行，主機只能發(fā)送有限的消息。

詳細讀解請參考本站文章 http://www.ztrww.cn/secs-gem-controlstate/

工藝狀態(tài)機

工藝狀態(tài)機報告設(shè)備的作業(yè)狀態(tài)，允許設(shè)備自定義狀態(tài)。可能的狀態(tài)包括：

• Init：設(shè)備初始化。
• Idle：設(shè)備空閑。
• Processing Active：設(shè)備正在處理。
• Pause：處理暫停。
• Process：處理進行中。
• Setup：設(shè)備設(shè)置中。
• Ready：設(shè)備準備就緒。
• Executing：設(shè)備正在執(zhí)行任務(wù)。

收集事件通知

收集事件通知是GEM標準中的重要功能。當(dāng)設(shè)備發(fā)生有意義的事件時，會實時向主機報告。GEM采用發(fā)布/訂閱機制，設(shè)備定義一組可供主機收集的事件，主機訂閱所需的事件。當(dāng)事件在設(shè)備端被觸發(fā)時，GEM接口只發(fā)布被訂閱的收集事件。

Collection Event是設(shè)備上對主機具有重要意義的事件或事件分組。每個收集事件都有一個唯一的標識符CEID。主機可以通過事件報告、跟蹤數(shù)據(jù)活動報告、限值監(jiān)控和查詢狀態(tài)變量等方式監(jiān)控設(shè)備的狀態(tài)。

動態(tài)事件報告配置

在實際生產(chǎn)中，主機不僅需要收到事件通知，還需要了解與事件相關(guān)的數(shù)據(jù)。GEM標準允許主機動態(tài)修改設(shè)備事件報告設(shè)置。主機可以定義報告，將報告鏈接到收集事件，并啟用收集事件通知。設(shè)備通過收集事件消息發(fā)布所請求的數(shù)據(jù)。

變量數(shù)據(jù)收集

變量數(shù)據(jù)收集功能允許主機通過指定RPTID向設(shè)備請求包含數(shù)據(jù)變量的報告。報告中包含的狀態(tài)變量和設(shè)備常量的值應(yīng)是最新的。離散數(shù)據(jù)變量值僅在特定采集事件發(fā)生時有效。

跟蹤數(shù)據(jù)收集

跟蹤數(shù)據(jù)收集提供了一種定期采樣數(shù)據(jù)的方法，適用于跟蹤趨勢或監(jiān)控一定時間窗口內(nèi)的連續(xù)數(shù)據(jù)。跟蹤報告包含數(shù)據(jù)采樣間隔、報告組大小、狀態(tài)變量、總樣本數(shù)和跟蹤ID等信息。

限值監(jiān)控

限值監(jiān)控功能允許主機監(jiān)控設(shè)備變量的值，并在變量超出設(shè)定范圍時接收通知。限值監(jiān)控涉及定義監(jiān)控區(qū)域和限制，當(dāng)變量值在監(jiān)控區(qū)域之間轉(zhuǎn)換時，設(shè)備會向主機報告。

遠程控制

遠程控制功能允許主機通過通信接口遠程操作設(shè)備。主機可以發(fā)送命令，如開始處理、選擇配方、停止處理、暫停處理、恢復(fù)處理和中止處理等。設(shè)備需要響應(yīng)主機命令，并提供相應(yīng)的功能。

設(shè)備常量管理

設(shè)備常量管理功能允許主機讀取和更改設(shè)備上的常量值。設(shè)備常量應(yīng)存儲在非易失性存儲器中，當(dāng)操作員更改設(shè)備常量時，設(shè)備應(yīng)提供收集事件提醒主機。

工藝配方管理

工藝配方管理功能允許主機與設(shè)備之間傳遞工藝規(guī)范。設(shè)備應(yīng)支持至少一種已定義的工藝配方管理方案，如格式化或非格式化工藝配方管理。主機可以上傳、下載、查詢和刪除工藝配方。

物料運動

物料運動功能用于通知主機設(shè)備端口出現(xiàn)或移除材料。設(shè)備應(yīng)至少提供兩個收集事件，分別用于報告物料移除和物料到達。

設(shè)備終端服務(wù)

設(shè)備終端服務(wù)允許主機在設(shè)備顯示設(shè)備上顯示信息，或從設(shè)備操作員接收信息。設(shè)備應(yīng)能顯示主機傳遞的信息，并將操作員輸入的信息傳遞給主機。

錯誤信息

設(shè)備在接收到無法處理的消息時，應(yīng)通知主機錯誤類型，包括設(shè)備ID、消息流類型、消息函數(shù)、消息格式和數(shù)據(jù)格式等。設(shè)備還應(yīng)通知主機報文數(shù)據(jù)量超出處理能力或交互定時器到期的情況。

時鐘功能

時鐘功能使主機能夠跨多個設(shè)備管理與時間相關(guān)的活動。主機可以設(shè)置和查詢設(shè)備的時間，設(shè)備也可以請求主機的當(dāng)前時間。時間戳對于解決事件/警報發(fā)生的相對順序和主機對設(shè)備活動的調(diào)度非常有用。

假脫機功能

假脫機功能允許設(shè)備在通信中斷期間將消息排隊，待通信恢復(fù)后傳遞。假脫機的目的是保留由于通信失敗而可能丟失的數(shù)據(jù)，用于跟蹤材料和提高產(chǎn)品質(zhì)量。

結(jié)語

SEMI E30 GEM標準為半導(dǎo)體制造設(shè)備提供了一套通用的通信與控制模型，涵蓋了從基本通信到高級功能的全方位需求。通過實現(xiàn)GEM標準，設(shè)備供應(yīng)商和工廠能夠顯著提高制造自動化的效率和靈活性，從而獲得更大的經(jīng)濟效益。

如需了解 SEMI E30 解決方案，請聯(lián)系support@kxware.com。

關(guān)于SEMI 標準文檔詳細信息，請訪問SEMI官網(wǎng)：http://www.semi.org 。