SEMI E37 HSMS概述
引言
SEMI E37 高速SECS消息服務(wù)(HSMS)標(biāo)準(zhǔn)為半導(dǎo)體設(shè)備制造商提供了一種高效的通信解決方案,使得不同設(shè)備之間能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)縫連接和互操作,而無(wú)需深入了解彼此的實(shí)現(xiàn)細(xì)節(jié)。HSMS旨在替代傳統(tǒng)的SEMI E4(SECS-I)協(xié)議,適用于需要更高通信速度或簡(jiǎn)單點(diǎn)對(duì)點(diǎn)拓?fù)錈o(wú)法滿足需求的場(chǎng)景。SEMI E4仍然可以在不需要HSMS特性的其他應(yīng)用場(chǎng)景中使用。 SEMI E37中主要包括的內(nèi)容有:HSMS 消息服務(wù)術(shù)語(yǔ)定義,HSMS 狀態(tài)機(jī)及交互場(chǎng)景,和 HSMS 消息結(jié)構(gòu)。
術(shù)語(yǔ)定義
- 連接(Connection):在TCP/IP局域網(wǎng)上建立的兩個(gè)實(shí)體之間的邏輯連接,用于交換消息。
- 實(shí)體(Entity):與TCP/IP連接端點(diǎn)關(guān)聯(lián)的應(yīng)用程序。
- 發(fā)起者(Initiator):請(qǐng)求HSMS服務(wù)的實(shí)體,通過(guò)發(fā)送適當(dāng)?shù)腍SMS消息來(lái)請(qǐng)求服務(wù)。
- 接收者(Receiver):接收消息的HSMS實(shí)體。
- 遠(yuǎn)程實(shí)體(Remote Entity):相對(duì)于連接的一個(gè)特定端點(diǎn),遠(yuǎn)程實(shí)體是與連接的另一個(gè)端點(diǎn)關(guān)聯(lián)的實(shí)體。
- 本地實(shí)體(Local Entity):相對(duì)于連接的特定端點(diǎn),本地實(shí)體是與該端點(diǎn)關(guān)聯(lián)的實(shí)體。
- 消息(Message):?jiǎn)蜗蛲ㄐ诺耐暾麊卧上㈤L(zhǎng)度、消息頭和消息文本組成。HSMS消息可以是數(shù)據(jù)消息或控制消息。
- 會(huì)話(Session):為交換HSMS消息而在兩個(gè)實(shí)體之間建立的關(guān)系。
- 會(huì)話ID(Session ID):一個(gè)16位無(wú)符號(hào)整數(shù),用于標(biāo)識(shí)特定會(huì)話實(shí)體之間的特定會(huì)話。
HSMS狀態(tài)機(jī)

(圖片來(lái)源: SEMI E37)
- NOT CONNECTED:實(shí)體已準(zhǔn)備偵聽(tīng)或發(fā)起TCP/IP連接,但尚未建立任何連接。
- CONNECTED:已建立TCP/IP連接,包含NOT SELECTED和SELECTED兩個(gè)子狀態(tài)。
- CONNECTED的一個(gè)子狀態(tài),在這個(gè)子狀態(tài)中沒(méi)有建立HSMS會(huì)話或者之前建立的任何HSMS會(huì)話已經(jīng)結(jié)束。
- CONNECTED的一個(gè)子狀態(tài),其中至少已經(jīng)建立了一個(gè)HSMS會(huì)話。這是HSMS的正常“操作”狀態(tài):數(shù)據(jù)消息可以在這種狀態(tài)下交換。它在狀態(tài)圖中被突出顯示。
HSMS超時(shí)
- T3:HSMS協(xié)議應(yīng)答超時(shí)。
- T5:連接分離超時(shí),用于防止TCP/IP連接過(guò)度活動(dòng)。
- T6:控制交互超時(shí),定義了在通信故障被認(rèn)為發(fā)生之前,HSMS控制交互可以保持打開(kāi)的最大時(shí)間。
- T7:連接空閑超時(shí),定義了在認(rèn)為發(fā)生了通信故障之前,從建立TCP/IP連接到使用該連接進(jìn)行HSMS通信之間可能發(fā)生的最大時(shí)間。
- T8:網(wǎng)絡(luò)字符間超時(shí),定義了在通信故障被認(rèn)為發(fā)生之前,從接收到一個(gè)完整的HSMS消息的任意兩個(gè)連續(xù)字節(jié)之間可能發(fā)生的最大時(shí)間。
HSMS 交互規(guī)范:
E37 中規(guī)范了設(shè)備和主機(jī)之間在協(xié)議層的一組交互流程,包括:
- 建立TCP/IP連接:過(guò)程在RFC 793中定義,HSMS將實(shí)體限制為被動(dòng)模式或主動(dòng)模式。
- 終止TCP/IP連接:終止連接是建立連接的逆邏輯,HSMS只允許當(dāng)連接處于CONNECTED狀態(tài)的NOT SELECTED子狀態(tài)時(shí)終止連接。
- Select : 用于基于TCP/IP連接上使用控制交互中的 Select.req 和 Select.rsp 建立HSMS通信
- 并發(fā)Select :如果附屬標(biāo)準(zhǔn)不限制Select的使用,則兩個(gè)實(shí)體可能同時(shí)啟動(dòng)具有相同Session ID的Select 步驟。 在這種情況下,每個(gè)實(shí)體應(yīng)通過(guò)響應(yīng)Select .rsp來(lái)接受另一個(gè)實(shí)體的選擇請(qǐng)求。
- 數(shù)據(jù)消息交互:只要連接處于SELECTED狀態(tài),任何一個(gè)實(shí)體都可以發(fā)起HSMS數(shù)據(jù)消息。數(shù)據(jù)消息可以進(jìn)一步定義為數(shù)據(jù)交互的一部分
- Deselect:Deselect 步驟用于在中斷TCP/IP連接之前為HSMS 的通訊提供一個(gè)得體的結(jié)束
- LinkTest:Linktest用于確定TCP/IP和HSMS通信的操作完整性。在CONNECTED狀態(tài)下隨時(shí)可以使用Linktest
- Separate:在中斷TCP/IP連接之前,Separate 步驟用于突然終止實(shí)體的HSMS通信。當(dāng)使用Separate時(shí),HSMS要求連接處于SELECTED狀態(tài)。
- Reject: 用于響應(yīng)在不適當(dāng)?shù)纳舷挛闹薪邮盏降挠行У腍SMS消息。
HSMS消息通用格式
HSMS消息作為單個(gè)連續(xù)字節(jié)流按以下順序傳輸:
- 消息頭(Message Header):一個(gè)10字節(jié)的字段,包含Session ID、Header Byte 2、Header Byte 3、PType、SType和System Bytes。
- 消息文本(Message Text):包含實(shí)際的數(shù)據(jù)內(nèi)容。
下圖為E37中對(duì)消息頭中各項(xiàng)參數(shù)的總結(jié)。

(圖片來(lái)源: SEMI E37)
參數(shù)建議
E37 HSMS 通信通信協(xié)議參數(shù)包括T3, T5, T6, T7, T8 等超時(shí)設(shè)置,HSMS 連接模式, 本地和遠(yuǎn)端IP 地址。作為通信雙方的約定規(guī)范,SEMI E37 分別給出了設(shè)備端和主機(jī)端的參數(shù)設(shè)置建議。
設(shè)備(Equipment):建議的參數(shù)設(shè)置。

(圖片來(lái)源: SEMI E37)
主機(jī)(Host):建議的參數(shù)設(shè)置。

(圖片來(lái)源: SEMI E37)
附屬標(biāo)準(zhǔn)
SEMI E37.1-0819:高速SECS消息服務(wù)單會(huì)話模式(HSMS-SS)規(guī)范。
SEMI E37.2 – 95(已撤銷):高速SECS消息服務(wù)通用會(huì)話模式。
結(jié)語(yǔ)
HSMS為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一種高效、可靠的通信協(xié)議,適用于需要高速數(shù)據(jù)傳輸和復(fù)雜拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的應(yīng)用場(chǎng)景。通過(guò)理解HSMS的基本概念、狀態(tài)機(jī)、消息格式和參數(shù)設(shè)置,技術(shù)人員可以更好地實(shí)現(xiàn)設(shè)備之間的互操作性和通信效率。
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