SEMI E94 控制作業(yè)管理 CJM 標(biāo)準(zhǔn)概述
引言
SEMI E94 控制作業(yè)管理（Control Job Management, CJM）標(biāo)準(zhǔn)為定義了控制作業(yè)（Control Job）的模型、服務(wù)和行為，幫助主機(jī)協(xié)調(diào)生產(chǎn)設(shè)備上的物料加工和處置。SEMI E94 的主要目的是為設(shè)備提供一套服務(wù)，使主機(jī)能夠協(xié)調(diào)生產(chǎn)設(shè)備上的物料加工和處置。該標(biāo)準(zhǔn)適用于符合 SEMI E30 (GEM) 標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備，但不適用于非生產(chǎn)設(shè)備（如材料運(yùn)輸系統(tǒng)或環(huán)境控制器）或執(zhí)行切片、裝配等操作的設(shè)備。
術(shù)語(yǔ)定義
- Control Job（控制作業(yè)）：設(shè)備上為一個(gè)或多個(gè)載具（Carrier）定義的工作單元，由一組用于載具中所含材料的一個(gè)或多個(gè)工藝作業(yè)（Process Job）描述。
- De-queue（出隊(duì)）：從隊(duì)列中移除一個(gè)項(xiàng)目的行為。
- Material Redirection Mode（物料重定向模式）：設(shè)備操作模式之一，基板（Substrate）被重定向到源載具槽（Source Carrier Slot）以外的槽位。
- Slot Integrity Mode（槽完整性模式）：設(shè)備操作模式之一，所有基板在加工后返回到同一源載具（Carrier）和源槽位（Slot）。
- Multi-module Equipment（多模塊設(shè)備）：具有多個(gè)不同處理資源（如多個(gè)工藝腔）的設(shè)備。
- Substrate（基板）：用于生產(chǎn)產(chǎn)品的基本材料單元，如晶圓（Wafer）、引線框架（Lead Frame）、光盤（CD）、芯片（Die）、平板顯示器（Flat Panel Display）、電路板（Circuit Board）等。
Control Job 與 Process Job 的區(qū)別
Process Job（工藝作業(yè)）： 負(fù)責(zé)關(guān)聯(lián)設(shè)備加工程序(Process Program) 和被加工的物料(Material)。創(chuàng)建后不會(huì)排隊(duì)，而是在池（Pool）中等待。
Control Job（控制作業(yè)）： 為 Process Job 提供調(diào)度。創(chuàng)建后會(huì)進(jìn)入排隊(duì)狀態(tài)，并根據(jù)控制作業(yè)指定屬性（MtrlOutSpec）或工藝結(jié)果（MtrlOutByStatus）指定基板的最終位置。
Control Job 對(duì)象屬性
Control Job 對(duì)象具有多個(gè)屬性：
- ObjID : 對(duì)象的標(biāo)識(shí)符。在E94中指創(chuàng)建作業(yè)時(shí)指定的控制作業(yè)的具有唯一性的標(biāo)識(shí)符。
- ObjType：對(duì)象的類型。在E94中為固定值“ControlJob”。
- CurrentPRJob: ControlJob中當(dāng)前正處在Active狀態(tài)工藝作業(yè)（Process Job）的標(biāo)識(shí)符（ID）。
- CarrierInputSpec: Control Job中所使用物料的Carrier ID 的列表，可以是空列表。
- DataCollectionPlan：主機(jī)提供的名稱，用于將數(shù)據(jù)收集活動(dòng)關(guān)聯(lián)到特定的 Control Job。設(shè)備在接收到 ControlJob START 事件時(shí)，會(huì)根據(jù)此計(jì)劃建立跟蹤報(bào)告和事件報(bào)告。
- MtrlOutSpec：用于映射 Control Job 中待加工物料的源位置和加工完成后的目標(biāo)位置。該屬性決定了設(shè)備是在 Slot Integrity Mode 還是 Material Redirection Mode 下運(yùn)行。
- MtrlOutByStatus：用于映射Control Job中待加工物料根據(jù)物料的狀態(tài)決定加工完成后的目標(biāo)位置。
- PauseEvent：主機(jī)可以指定設(shè)備事件列表，當(dāng)這些事件發(fā)生時(shí)，設(shè)備會(huì)暫停 Control Job。
- PRJobStatusList: Control Job所關(guān)聯(lián)的所有Process Job及其狀態(tài)的列表。
- ProcessingCtrlSpec: 定義了Control Job中將要執(zhí)行的Process Job 即其規(guī)則（Control Rule和Output Rule）的結(jié)構(gòu)列表。
- ProcessOrderMgmt： 定義了Control Job中的Process Job 初始化的順序方法。
- StartMethod： 定義了當(dāng)物料就緒后，Control Job 是否自動(dòng)開(kāi)始執(zhí)行。
- State：控制作業(yè)的當(dāng)前狀態(tài)，對(duì)應(yīng)Control Job狀態(tài)機(jī)中的各狀態(tài)定義。
Control Job 狀態(tài)機(jī)
（圖片來(lái)源：SEMI E94)
Control Job 的狀態(tài)包括：
- QUEUED：控制作業(yè)在隊(duì)列中等待執(zhí)行。
- ACTIVE：控制作業(yè)已激活，但尚未開(kāi)始執(zhí)行。
- SELECTED：控制作業(yè)被選中，準(zhǔn)備執(zhí)行。
- WAITING FOR START：控制作業(yè)等待啟動(dòng)命令。
- EXECUTING：控制作業(yè)正在執(zhí)行。
- PAUSED：控制作業(yè)被暫停。
- COMPLETED：控制作業(yè)已完成。
Control Job 隊(duì)列模型
Control Job 的排隊(duì)機(jī)制通常遵循先進(jìn)先出（FIFO）原則。為了保持隊(duì)列的完整性，設(shè)備在任何給定時(shí)間內(nèi)只能執(zhí)行一個(gè)操作。例如，如果 CJHOQ 服務(wù)正在處理，設(shè)備將拒絕其他創(chuàng)建請(qǐng)求。
Head Of Queue (CJHOQ) 服務(wù)：將指定的 Control Job 移動(dòng)到隊(duì)列的頭部位置，其他作業(yè)依次后移。此服務(wù)用于防止死鎖情況。
Control Job 服務(wù)與命令
SEMI E94 定義了一系列 Control Job 服務(wù)和命令，以下是其中一些關(guān)鍵服務(wù)：
- CJStart：?jiǎn)?dòng)處于“WAITING FOR START”狀態(tài)的 Control Job。
- CJPause：暫停 Control Job，停止啟動(dòng)新的 Process Job。
- CJResume：恢復(fù) Control Job，繼續(xù)啟動(dòng) Process Job。
- CJDeselect：取消選中 Control Job，并將其與隊(duì)列最前面的作業(yè)交換位置。
- CJCancel：從隊(duì)列中刪除 Control Job。
- CJStop：停止 Control Job 啟動(dòng)任何 Process Job。
- CJAbort：中止 Control Job，停止所有正在運(yùn)行的 Process Job。
總結(jié)
SEMI E94 控制作業(yè)管理標(biāo)準(zhǔn)為半導(dǎo)體行業(yè)的軟件技術(shù)人員提供了一套強(qiáng)大的工具，用于管理和協(xié)調(diào)生產(chǎn)設(shè)備上的物料加工和處置。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化的控制作業(yè)模型和服務(wù)，E94 不僅提高了設(shè)備的自動(dòng)化水平，還增強(qiáng)了主機(jī)與設(shè)備之間的協(xié)調(diào)能力，從而提升了生產(chǎn)效率。
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