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親愛的技術(shù)伙伴：

想要了解半導(dǎo)體設(shè)備 SECS GEM標準是怎么幫助晶圓廠實現(xiàn)自動化生產(chǎn)的嗎？想快速掌握行業(yè)領(lǐng)先的KXGEM軟件核心技能嗎？4月15日，我們將在上海浦東舉辦線下免費培訓(xùn)，助你解鎖高效開發(fā)新姿勢！席位僅限30人，先到先得

為什么選擇KXGEM？

作為新一代智能開發(fā)平臺，KXGEM深度融合AI引擎與低代碼技術(shù)，支持快速搭建企業(yè)級應(yīng)用。無論你是開發(fā)者、項目經(jīng)理還是技術(shù)決策者，都能通過可視化工具+深度編碼模式，實現(xiàn)效率300%提升！

培訓(xùn)亮點搶先看！

??行業(yè)標準：半導(dǎo)體行業(yè)標準SECS GEM 介紹

? 應(yīng)用場景：CIM 端 SECS GEM 應(yīng)用

?深度解析：KXGEM核心功能與實戰(zhàn)技巧

?專家互動：15年+ 經(jīng)驗技術(shù)專家現(xiàn)場答疑

?限量福利：免費 GEMValidator軟件

活動詳情 ?

時間：2025年4月15日（周二）09:30-17:00

地點：上海 浦西

人數(shù)：30人（每企業(yè)限報2人）

費用：全程免費（含午餐及培訓(xùn)資料）

報名方式??

1. 發(fā)送郵件至support@kxware.com,郵件名“KXGEM公開課報名_<姓名>”注明以下信息

• 姓名
• 聯(lián)系電話
• 公司名稱
• 公司郵箱

2. 收到報名郵件后，工作人員將在24小時內(nèi)確認席位。報名結(jié)果以確認郵件為主。

報名截止：4月10日18:00或滿額即止

特別提示

現(xiàn)場將開放5個「免費技術(shù)咨詢」名額，攜帶項目案例更有可能獲得定制方案哦！

這個春天，讓我們用技術(shù)碰撞火花！4月15日，上海見！

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原文地址：SEMI中國信息控制標準技術(shù)委員會2024夏季會議在上海順利召開?

由SEMI中國主辦的SEMI中國信息控制標準技術(shù)委員會夏季會議于2024年7月5日在上海順利召開。

本次會議上，來自珂矽、萬物云、上揚軟件、中微半導(dǎo)體、安靠、矽美科、上微、精卓等20余位委員及專家代表參加了會議。

會議過程中，經(jīng)委員會討論，批準由中微半導(dǎo)體主導(dǎo)的Doc.7139行項修訂：工藝管理規(guī)范及工藝管理規(guī)范SECS-II協(xié)議及Doc.7140行項修訂：控制作業(yè)管理規(guī)范及控制作業(yè)管理規(guī)范SECS-II協(xié)議進入全球投票。

本次會議上，SEMI中國為 “SEMI E87-0324, E87.1-0324/ SEMI E87-0524, E87.1-0524，行項修訂：晶舟管理規(guī)范 (CMS) 及晶舟管理規(guī)范的SECS-II協(xié)議規(guī)范的主編單位珂矽信息技術(shù) (上海) 有限公司及各參編單位頒發(fā)標準發(fā)布證書。

SEMI中國信息控制標準技術(shù)委員會是中國集成電路產(chǎn)業(yè)與國際行業(yè)標準合作的重要平臺，SEMI中國信控標委會自2021年11月成立以來，已成功召開6次標委會，標準委員會目前下設(shè)兩個工作小組，先進后道工廠集成 工作組（ABFI TF）及 GEM300 標準工作組 (GEM300 TF)。? ABFI 工作組已有1份標準修訂已正式發(fā)布，GEM300工作組目前有2份標準修訂正在進行中。

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交通提示  

? 地鐵14號線中寧路站3號口，步行3分鐘
? 地鐵11號線楓橋路站1號口，步行5分鐘

報名聯(lián)系人

? 容女士：
13601625657
joanna.rong@kxware.com

? 金女士：
13818462986
ijin@semi.org

報名截止時間：2024年1月7日

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KTM代表了我們對于珂矽半導(dǎo)體設(shè)備框架軟件產(chǎn)品的愿景和期望，我們希望能夠通過對KTM功能的不斷完善改進，為您的團隊帶來更多的價值。感謝您一直以來的支持和理解！我們將會繼續(xù)不懈努力，提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)。如果您有任何問題或建議，隨時可以通過 郵箱 support@kxware.com 聯(lián)系我們。請持續(xù)關(guān)注我們的新聞動態(tài)和更新，我們期待與您一起體驗KTM的新篇章。

再次感謝您的支持！

珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司

2023年10月27日

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1. SECS GEM手冊的更新往往跟不上設(shè)備軟件的升級，信息更新滯后；
2. SECS GEM 手冊沒有統(tǒng)一的格式，通常為PDF或Word文檔格式，需要開發(fā)人員閱讀后獲取更新信息；

為了解決這些問題，SEMI標準的修訂者們也在對標準持續(xù)做完善。除了發(fā)布標準SEMI E172 （SEDD, SECS Equipment Data Dictionary），將設(shè)備的特性描述格式標準化。此外，SECS GEM標準陸續(xù)增加了一系列接口消息，使得工廠可以隨時通過向設(shè)備發(fā)送指令，查詢到設(shè)備當前的特性定義。本篇文章接下來的內(nèi)容，整理了自1982年至今，SEMI 標準中定義的設(shè)備自我描述接口功能的進化歷程。

E005-00-0082 版本接口

• S5F5 (List Alarm Request) / S5F6 (List Alarm Data)
• S7F19 (Current EPPD Request) / S7F20 (Current EPPD Data)

E005-00-0092 版本新增接口

• S1F11 (Status Variable NameList Request) / S1F12 Status Variable NameList Reply
• S2F29 (Equipment Constant NameList Request) / S2F30 (Equipment Constant NameList)
• S5F7 (List Enabled Alarm Request) / S5F8 (List Enabled Alarm Data)

E005-00-0813版本新增接口

• S1F21 (Data Variable NameList Request) / S1F22 (Data Variable NameList Data)
• S1F23 (Collection Event NameList Request) / S1F24 (Collection Event NameList Data)

E005-00-0821 版本新增接口

• S2F51 (Request List of Report Identifiers) / S2F52 (Return List of Report Identifiers)
• S2F53 (Request List of Report Definitions) / S2F54 (Return List of Report Definitions)
• S2F55 (Request Event Report Links) / S2F56 (Return Event Report Links)
• S2F57 (Request List of Enabled Events) / S2F58 (Return List of Enabled Events)
• S2F59 (Request Selected Spooling Stream and Functions) / S2F60 (Return Selected Spooling Stream and Functions)
• S2F61 (Request List of Trace Identifiers) / S2F62 (Return List of Trace Identifiers)
• S2F63 (Request Trace Definitions) / S2F63 (Return Trace Definitions)

Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標準，支持SEMI E30 GEM所有功能。支持E005-00-0821 標準中包含的所有設(shè)備端自我描述接口。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。

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蒞臨會議的嘉賓單位：

合肥市生態(tài)環(huán)境局、合肥市發(fā)改委、合肥經(jīng)開區(qū)生態(tài)環(huán)境分局、合肥高新區(qū)半導(dǎo)體投資促進中心、合肥高新區(qū)生態(tài)環(huán)境分局、合肥高新區(qū)投資促進局、東南大學(xué)碳研院（長三角碳中和戰(zhàn)略發(fā)展研究院）、合肥工業(yè)大學(xué)資源與環(huán)境工程學(xué)院、安徽省質(zhì)量和標準化研究院

蒞臨會議的半導(dǎo)體企業(yè)（排名不分先后）：

長鑫科技集團股份有限公司
長江存儲科技有限責任公司
合肥晶合集成電路股份有限公司
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
上海微電子裝備（集團）股份有限公司
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
拓荊創(chuàng)益（沈陽）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
至純科技集團
睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
新凱來半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
應(yīng)用材料投資（中國）
珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司
施耐德電氣(中國)有限公司
西門子中國有限公司
米格實驗室
上海欣項電子科技有限公司
上海異科特檢測技術(shù)有限公司
萊茵技術(shù)（上海）有限公司

東南大學(xué)長三角碳中和戰(zhàn)略發(fā)展研究院副院長、江蘇能源研究會常務(wù)副理事長王培紅教授首先介紹了中共中央國務(wù)院發(fā)布的我國雙碳行動頂層設(shè)計；進而，基于碳排放量與GDP及能耗量的關(guān)系，提出高質(zhì)量發(fā)展有4大重點，即：降低單位產(chǎn)品能耗、提升單位產(chǎn)品增加值、提升非碳電力占比、提升電力消費比重；最后，結(jié)合極致能效工程，介紹了設(shè)備級節(jié)能、企業(yè)級節(jié)能核園區(qū)級節(jié)能的要點。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司產(chǎn)品安全部部長龔志峰先生介紹基于SEMI S23，從能源、具有Rest模式和Sleep模式的子系統(tǒng)部件、產(chǎn)能提升等方面做技術(shù)層面梳理，尋找節(jié)能方案。北方華創(chuàng)嘗試將SEMI S6 指南與節(jié)能減排進行創(chuàng)新性結(jié)合。

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 質(zhì)量環(huán)境健康安全部 經(jīng)理 高倩先生介紹中微公司連續(xù)發(fā)布ESG報告，開展碳排放信息披露（CDP），深化ESG內(nèi)部治理及環(huán)境信息透明化。中微將可持續(xù)設(shè)計理念有機融入產(chǎn)品研發(fā)過程，推出雙反應(yīng)臺的CCP、ICP刻蝕設(shè)備，可靈活裝置多達三個雙反應(yīng)臺反應(yīng)腔（六個反應(yīng)臺），可節(jié)省約30%制造成本，設(shè)備占地面積小，輸出能量高，加工成本低。硅通孔刻蝕（ TSV ）產(chǎn)品開發(fā)中，優(yōu)化氣體注入腔體方式的設(shè)計，從而降低單位晶圓硅通孔刻蝕的工藝氣體用量。中微公司愿攜手產(chǎn)業(yè)鏈合作伙伴，不斷強化產(chǎn)品創(chuàng)新，低碳運營，共同致力于綠色、可持續(xù)的未來。

米格實驗室 技術(shù)總監(jiān)孫吟龍先生介紹SEMI S23 《半導(dǎo)體工藝機臺能源、動力與物料使用效率指南》。SEMI S23 是半導(dǎo)體行業(yè)評價工藝機臺能耗及規(guī)范測試方法與要求的主要參考依據(jù)。孫吟龍先生分別從定義、測量方法與要求、等效能源與功率的轉(zhuǎn)化系數(shù)、Rest與Sleep模式、子系統(tǒng)與零部件、設(shè)定目標與改善、監(jiān)控與報告、改善藍圖、一般降耗措施、客觀與主觀評價法等方面對S23進行了介紹。

珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司 執(zhí)行副總 劉波女士介紹SEMI《設(shè)備及子系統(tǒng)的節(jié)能模式通訊規(guī)范》。SEMI E167 設(shè)備節(jié)能模型通訊規(guī)范，定義了為了降低生產(chǎn)設(shè)備能耗率，主機和生產(chǎn)設(shè)備之間的消息服務(wù)和行為。實現(xiàn)工廠主機管理生產(chǎn)設(shè)備進入和退出休眠模式的能力，以降低能源消耗率。

SEMI E175 設(shè)備子系統(tǒng)節(jié)能模型通訊規(guī)范，定義了為降低生產(chǎn)設(shè)備能耗率，設(shè)備主控程序與子系統(tǒng)之間的通訊規(guī)范，實現(xiàn)設(shè)備主控程序管理設(shè)備子各系統(tǒng)進入和退出節(jié)能模式的能力，通過使用子系統(tǒng)休眠眠級別轉(zhuǎn)換實現(xiàn)節(jié)能模式(降低能耗率)運行。劉波女士還介紹了設(shè)備節(jié)能狀態(tài)模型、子系統(tǒng)節(jié)能狀態(tài)模型。

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司軟件部執(zhí)行總監(jiān)曹涵先生從控制軟件角度介紹降低能源消耗的方法。與會專家一同探討了優(yōu)化晶圓調(diào)度，減少設(shè)備空閑時間，提高生產(chǎn)效率，優(yōu)化控溫算法，智能判斷采用的節(jié)能策略等可行方法。

安徽中科新源半導(dǎo)體科技有限公司副總裁 陸斌先生介紹半導(dǎo)體直冷機技術(shù)基礎(chǔ)，對比TE Chiller 與壓縮機Chiller 控溫情況、用電量對比案例、成本節(jié)約案例。節(jié)能型直冷機具有更好的CD控制并能最小化第一晶圓效應(yīng)、不需要使用氟利昂，真正的綠色環(huán)保，不使用壓縮機，沒有耗電的浸沒式加熱器和大型交流泵電機。

全場嘉賓參與Fab工廠端節(jié)能計劃與實施 圓桌環(huán)節(jié)，探討制程機臺能耗水平監(jiān)視通過運行數(shù)據(jù)的技術(shù)方法，確定工作組近期將基于SEMI 國際半導(dǎo)體標準，構(gòu)建適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的行業(yè)標準。合肥市生態(tài)環(huán)境局局長丁志松先生表示行業(yè)標準很重要，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條長，需要每個工藝環(huán)節(jié)都攜手參與進節(jié)能工作，丁局長非常贊賞SEMI EHSS專委會開啟標準研究工作。

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半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)制造是一個高度自動化的生產(chǎn)過程。除了設(shè)備本身運行的自動化，工廠自動化也是現(xiàn)代晶圓廠必不可少的基礎(chǔ)功能。SECS/GEM系列標準所定義的功能使芯片制造商能夠與設(shè)備通信，從生產(chǎn)設(shè)備采集數(shù)據(jù)并實現(xiàn)對設(shè)備的控制。但是當300mm晶圓開始引入， 晶圓尺寸變大讓人工搬運裝卸材料變得困難，晶圓上芯片數(shù)量的增多也要求對生產(chǎn)的過程控制更復(fù)雜精細，對材料和設(shè)備的數(shù)據(jù)要求也更多。這些挑戰(zhàn)促使SEMI 發(fā)布了GEM300系列標準來解決這些問題。

GEM300系列標準，包括 SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90, SEMI E94, SEMI E116。該系列標準描述了一種更復(fù)雜的全自動化生產(chǎn)方法，工廠主機可以更精細的遠程控制芯片加工過程，監(jiān)控設(shè)備運行性能和材料處理狀態(tài)，并提供了額外的生產(chǎn)過程優(yōu)化功能，大大提高了芯片生產(chǎn)的自動化程度。

SEMI全球信息控制標準委員會中國分委員會主席，珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司執(zhí)行副總經(jīng)理劉波從SEMI設(shè)備基本通訊標準層次結(jié)構(gòu)出發(fā)，梳理了目前半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中用到的主要SECS/GEM及GEM300 通訊標準，并介紹了2010年新發(fā)布的SEMI E157 Module Process Tracking 標準。

參會人員討論熱烈，提出了很多GEM300在實現(xiàn)和應(yīng)用過程中遇到的問題，并表示出對下一次公開課的期待。
珂矽（KXware）是SEMI標準技術(shù)委員會在中國的活躍會員，也是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備基礎(chǔ)軟件和智能控制平臺專業(yè)供應(yīng)商，會一直支持SEMI標準在國內(nèi)的推廣和應(yīng)用。

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來自珂矽信息技術(shù)、萬物云、北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、矽美科、安靠、華力微電子、施耐德、上海微電子、鼎格、上揚軟件、昕謀軟件、賽美特、通富微、長電科技、哥瑞利、竹輝科技、SCREEN、PEER GROUP、屹唐半導(dǎo)體、寄云科技、萬泰、Victrex等，共計24家企業(yè)40余位專家代表參加了會議。

SEMI中國信息控制標準技術(shù)委員會2022年度春季線上會議于3月25日順利舉行。

來自珂矽信息技術(shù)、萬物云、北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、矽美科、安靠、華力微電子、施耐德、上海微電子、鼎格、上揚軟件、昕謀軟件、賽美特、通富微、長電科技、哥瑞利、竹輝科技、SCREEN、PEER GROUP、屹唐半導(dǎo)體、寄云科技、萬泰、Victrex等，共計24家企業(yè)40余位專家代表參加了會議。

本次會議上標委會批準成立項目《Line Item Revision to SEMI E87-0921, Specification For Carrier Management (CMS) and E87.1-0921, Specification for SECS-II Protocol for Carrier Management (CMS), and SEMI E5-0821 Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)》。此項目可以幫助芯片后道加工相關(guān)企業(yè)更好地實現(xiàn)及使用SEMI E87標準，對后道特有的，具有多樣性特點的芯片載體，實現(xiàn)更好的管理。

標委會上討論并批準了成立中國GEM300工作組的申請。由北方華創(chuàng)專家代表擔任組長，華力微電子、上海微電子、中微半導(dǎo)體、珂矽信息技術(shù)、屹唐半導(dǎo)體、英特爾、寄云科技、潤石科技等行業(yè)資深專家構(gòu)成工作組成員。工作組旨在幫助半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)與工廠更好地應(yīng)用及完善SEMI GEM300 系列標準。

SEMI 中國區(qū)標準秘書處邀請SEMI北美Diagnostic Data Acquisition Task Force 組長介紹目前頗受全球半導(dǎo)體制造業(yè)關(guān)注的Interface A/EDA 標準最新工作進展。SEMI Interface A/EDA 標準第一版于2005年發(fā)行，第二版于2010發(fā)行。自Interface A/EDA 標準發(fā)布以來，被臺積電、聯(lián)電、三星、海力士、德州儀器等國際領(lǐng)先企業(yè)廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)的優(yōu)化和良率的改進。目前，SEMI 信息控制標準技術(shù)委員會正在制定適應(yīng)現(xiàn)在集成電路產(chǎn)業(yè)對高速數(shù)據(jù)傳輸需求的第三版Interface A/EDA 系列標準。

咨詢更多SEMI 自動化標準，請聯(lián)系SEMI Standards Staff: ijin@semi.org

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SEMI中國信息控制標準技術(shù)委員會2021年度冬季會議12月20日在上海順利召開。

現(xiàn)場有來自珂矽信息技術(shù)、上揚軟件、華力微電子、施耐德電氣、上微、安靠、鼎格、上海微技術(shù)工業(yè)研究院、昕謀軟件、優(yōu)騰科技，線上撥入有：北方華創(chuàng)、萬物云、中微半導(dǎo)體、矽美科、安靠、賽美特、通富微、長電科技、哥瑞利、竹輝科技、SCREEN、PEER GROUP、IKAS，共計20余家企業(yè)及科研院所的30余位委員及專家代表參加了會議。

會議現(xiàn)場SEMI高級項目總監(jiān)戚發(fā)鑫為施耐德電氣（中國）有限公司電子行業(yè)負責人王文韜、安靠封裝測試(上海)有限公司副總裁何國鋒頒發(fā)核心委員聘任證書。

本次會議上委員會批準成立先進后道工廠集成工作組（ABFI TF)。由珂矽軟件、安靠、通富微共同擔任組長，鼎格、上微、矽美科、長電科技、華創(chuàng)等行業(yè)內(nèi)資深專家構(gòu)成工作組成員。先進后道工廠集成工作組（ABFI TF) 旨在探索、評估和開發(fā)適用于后道設(shè)備（Bump, Chip Probing, Assembly, Final Test and Sensor）的設(shè)備自動化標準集合，以實現(xiàn)和提高半導(dǎo)體制造的封裝和測試的全自動化過程。

會議的最后，SEMI中國信息控制標委會計劃于2022 SEMICON同期舉辦春季會議。

關(guān)于SEMI 標準>
SEMI成立50多年來，一直致力于國際標準的制定，成功搭建了半導(dǎo)體、平板顯示器、LED、光伏、MEMS、納米科技等國際產(chǎn)業(yè)技術(shù)標準的討論平臺，有效提升了行業(yè)技術(shù)交流的效率，加速新技術(shù)的成熟和量產(chǎn)，推動技術(shù)革新，加強產(chǎn)品的可靠性和提高生產(chǎn)力。加強企業(yè)競爭力，降低產(chǎn)品進入全球市場的門檻。

SEMI全球有5000多名志愿者、來自2000多家公司投身于SEMI國際產(chǎn)業(yè)技術(shù)標準活動，他們分別來自美洲、歐洲、日本、韓國、中國大陸及臺灣地區(qū)等地，代表著全球各地產(chǎn)業(yè)的呼聲和需求。目前SEMI全球已成立了20個標準委員會及200個工作小組為推動全球產(chǎn)業(yè)標準的制定貢獻力量。目前已經(jīng)制定了高達1056項、16大類的標準及安全相關(guān)準則，并廣為全球IDM廠、晶圓廠、封裝測試廠等應(yīng)用。

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