迄今為止，GEM 標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用已有二十多年。由于在半導(dǎo)體芯片…
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SECS GEM系列之控制狀態(tài)機(jī)
早在工廠生產(chǎn)自動(dòng)化應(yīng)用普及之前，絕大多數(shù)設(shè)備處于“離線”狀態(tài)，設(shè)備狀態(tài)…
SECS GEM 系列之通訊狀態(tài)機(jī)
對(duì)于絕大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)的操作人員而言，設(shè)備的通訊功能只有Enabl…
SEMI Interface-A/EDA 系列標(biāo)準(zhǔn)最新進(jìn)展
什么是EDA標(biāo)準(zhǔn) EDA ： Equipment Data Acqui…