• 對(duì)象服務(wù)標(biāo)準(zhǔn) OSS（E39）
• 晶圓追蹤標(biāo)準(zhǔn) STS（E90）
• 自動(dòng)化作業(yè)管理追蹤 PJM（E40），CJM（E94）
• 設(shè)備硬件模塊運(yùn)行效率的管理和追蹤 EPT（E116）
• 全自動(dòng)Carrier管理標(biāo)準(zhǔn) CRM（E87)
• 物料運(yùn)輸?shù)木A傳送標(biāo)準(zhǔn)，并行IO硬件通信接口定義 PIO（E84）
• 生產(chǎn)制程關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行追蹤監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn) MPT（E157）

哪一類設(shè)備制造商適合使用KXGEM300 SDK？

設(shè)備制造商已有自己的設(shè)備控制軟件，希望以較少的研發(fā)成本和較短時(shí)間內(nèi)對(duì)設(shè)備軟件進(jìn)行改造實(shí)現(xiàn)GEM300標(biāo)準(zhǔn)。我們?yōu)槊恳晃籏XGEM300軟件產(chǎn)品使用客戶定制開發(fā)培訓(xùn)教程，在培訓(xùn)中以客戶實(shí)際設(shè)備為實(shí)例，完成GEM300各個(gè)SEMI標(biāo)準(zhǔn)的集成操作演示和測試。

KXGEM300使得設(shè)備制造商的軟件開發(fā)人員不需要精通一系列GEM300標(biāo)準(zhǔn)，就能開發(fā)出滿足工廠自動(dòng)化生產(chǎn)要求的GEM300設(shè)備操作規(guī)范和通信接口。

基于KXGEM300 SDK產(chǎn)品，珂矽已協(xié)助多個(gè)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商完成了GEM300軟件集成，包括單片晶圓工藝處理，晶圓封裝，晶圓量測等設(shè)備。 運(yùn)行KXGEM300的半導(dǎo)體設(shè)備已在包括長江存儲(chǔ)，中芯國際等一線工廠運(yùn)行。

點(diǎn)擊此處鏈接查看KXGEM300產(chǎn)品介紹

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完成的大氣設(shè)備硬件控制邏輯功能塊包括

• PM (Process Module) 工藝腔體
• LP (LoadPort) 晶圓裝載口
• AMHS （Automatic Material Handling System）E84 自動(dòng)物料搬運(yùn)接口
• ATM Robot (Atmosphere Robot) 大氣機(jī)械手
• EFEM (Equipment Front End Module) 設(shè)備前端模塊
• MFC (Mass Flow Controller) 流量計(jì)
• Gauge 壓力計(jì)
• Buffer 緩沖腔
• Motion Controller 運(yùn)動(dòng)控制器
• RFID Reader 晶圓盒ID讀碼器
• TC （Temperature Controller） 溫度控制器
• Hardware Messenger 通用硬件通信模塊

完成各種大氣設(shè)備調(diào)度場景

• 針對(duì)晶圓的單手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對(duì)晶圓的多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對(duì)晶圓的多機(jī)器人多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對(duì)晶圓的槽式設(shè)備調(diào)度
• 針對(duì)晶圓盒的多機(jī)器人設(shè)備調(diào)度
• 針對(duì)多個(gè)晶圓盒站點(diǎn)位的Internal Buffer類型設(shè)備調(diào)度

提供通用的大氣工藝腔菜單執(zhí)行引擎模版

• 無需編寫代碼即完成工藝配方程序的創(chuàng)建和保存
• 提供通用的工藝配方文件解析代碼
• 無需編寫代碼自動(dòng)支持SEMI SECS Stream 7 Format Recipe上傳、下載
• 提供壓力控制，閥門控制，流量計(jì)，溫度控制的漸變、跳變、條件跳轉(zhuǎn)等常見工藝控制流程
• 通過軟件互鎖實(shí)現(xiàn)異常情況下的安全保護(hù)操作
• 自動(dòng)數(shù)據(jù)監(jiān)測、記錄、存檔，支持高頻工藝數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
• 內(nèi)建SEMI E157(MPT)工藝程序運(yùn)行狀態(tài)上報(bào)，配合工廠FDC完成工藝數(shù)據(jù)工廠監(jiān)控

大氣晶圓傳送互鎖

• 三重互鎖設(shè)計(jì)確保晶圓傳送發(fā)生硬件碰撞事故
• 預(yù)留軟件互鎖接口配合支持硬件互鎖的Robot Controller實(shí)現(xiàn)硬件安全互鎖
• 無需修改軟件代碼即可實(shí)現(xiàn)互鎖規(guī)則調(diào)整

靈活的調(diào)度器設(shè)計(jì)方案

大氣設(shè)備往往對(duì)于設(shè)備產(chǎn)能（WPH）有著嚴(yán)格要求，為方便設(shè)備制造商實(shí)現(xiàn)各種不同情況下的調(diào)度邏輯，珂矽設(shè)計(jì)了獨(dú)特的任務(wù)執(zhí)行引擎（Task Work Engine），并將設(shè)備常見調(diào)度動(dòng)作進(jìn)行了封裝，支持兩種傳統(tǒng)的調(diào)度實(shí)現(xiàn)方法：（a）Planned Scheduling規(guī)劃式調(diào)度， （b）State Driven Scheduling狀態(tài)驅(qū)動(dòng)式調(diào)度。 使用者可以自行采用方式（a）或（b）或混合方式實(shí)現(xiàn)設(shè)備的單獨(dú)或多步調(diào)度規(guī)劃。

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完成的真空設(shè)備硬件控制邏輯功能塊包括

• TM (Transfer Module) 真空傳送腔體
• PM (Process Module) 工藝腔體
• LL (Loadlock) 預(yù)裝載腔體
• LP (LoadPort) 晶圓裝載口
• AMHS （Automatic Material Handling System）E84 自動(dòng)物料搬運(yùn)接口
• ATM Robot (Atmosphere Robot) 大氣機(jī)械手
• VAC Robot (Vacuum Robot)真空機(jī)械手
• EFEM (Equipment Front End Module) 設(shè)備前端模塊
• VAC Pump (Vaccum Pump) 真空泵
• MFC (Mass Flow Controller) 流量計(jì)
• Gauge 壓力計(jì)
• Buffer 緩沖腔
• Slit 閘板閥
• Motion Controller 運(yùn)動(dòng)控制器
• RFID Reader 晶圓盒ID讀碼器
• TV （Throttle Valve） 蝶閥控制器
• PC （Pressure Controller） 壓力控制器
• TC （Temperature Controller） 溫度控制器
• Hardware Messenger 通用硬件通信模塊

完成各種真空設(shè)備調(diào)度場景

• 單傳送腔（Single TM）設(shè)備調(diào)度
• 雙傳送腔（Dual TM）設(shè)備調(diào)度
• 多類型工藝腔體帶優(yōu)先級(jí)的設(shè)備調(diào)度
• 單腔多真空機(jī)械手設(shè)備調(diào)度
• 單工藝腔同時(shí)處理多片晶圓的設(shè)備調(diào)度

提供通用的真空工藝腔菜單執(zhí)行引擎模版

• 無需編寫代碼即完成工藝配方程序的創(chuàng)建和保存
• 提供通用的工藝配方文件解析代碼
• 無需編寫代碼自動(dòng)支持SEMI SECS Stream 7 Format Recipe上傳、下載
• 提供壓力控制，閥門控制，流量計(jì)，溫度控制的漸變、跳變、條件跳轉(zhuǎn)等常見工藝控制流程
• 通過軟件互鎖實(shí)現(xiàn)異常情況下的安全保護(hù)操作
• 自動(dòng)數(shù)據(jù)監(jiān)測、記錄、存檔，支持高頻工藝數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
• 內(nèi)建SEMI E157(MPT)工藝程序運(yùn)行狀態(tài)上報(bào)，配合工廠FDC完成工藝數(shù)據(jù)工廠監(jiān)控

真空|大氣晶圓傳送互鎖：

• 三重互鎖設(shè)計(jì)確保晶圓傳送發(fā)生硬件碰撞事故
• 預(yù)留軟件互鎖接口配合支持硬件互鎖的Robot Controller實(shí)現(xiàn)硬件安全互鎖
• 無需修改軟件代碼即可實(shí)現(xiàn)互鎖規(guī)則調(diào)整

支持6、8寸真空設(shè)備的控制軟件移植

針對(duì)國內(nèi)6、8寸真空設(shè)備，珂矽針對(duì)沒有LoadPort，采用LoadLock + SMIF方式裝載Cassette的6、8寸PVD，CVD設(shè)備，專門開發(fā)了針對(duì)SMIF場景的GEM300控制接口，整機(jī)設(shè)備軟件仍舊完全遵循SEMI GEM300標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化生產(chǎn)，對(duì)于已經(jīng)采用GEM300生產(chǎn)的工廠無需做任何調(diào)整，可以完全采用GEM300方式對(duì)6、8寸SMIF設(shè)備進(jìn)行全自動(dòng)生產(chǎn)控制。

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