親愛的技術(shù)伙伴：

想要了解半導(dǎo)體設(shè)備 SECS GEM標(biāo)準(zhǔn)是怎么幫助晶圓廠實現(xiàn)自動化生產(chǎn)的嗎？想快速掌握行業(yè)領(lǐng)先的KXGEM軟件核心技能嗎？4月15日，我們將在上海浦東舉辦線下免費培訓(xùn)，助你解鎖高效開發(fā)新姿勢！席位僅限30人，先到先得

為什么選擇KXGEM？

作為新一代智能開發(fā)平臺，KXGEM深度融合AI引擎與低代碼技術(shù)，支持快速搭建企業(yè)級應(yīng)用。無論你是開發(fā)者、項目經(jīng)理還是技術(shù)決策者，都能通過可視化工具+深度編碼模式，實現(xiàn)效率300%提升！

培訓(xùn)亮點搶先看！

??行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SECS GEM 介紹

? 應(yīng)用場景：CIM 端 SECS GEM 應(yīng)用

?深度解析：KXGEM核心功能與實戰(zhàn)技巧

?專家互動：15年+ 經(jīng)驗技術(shù)專家現(xiàn)場答疑

?限量福利：免費 GEMValidator軟件

活動詳情 ?

時間：2025年4月15日（周二）09:30-17:00

地點：上海 浦西

人數(shù)：30人（每企業(yè)限報2人）

費用：全程免費（含午餐及培訓(xùn)資料）

報名方式??

1. 發(fā)送郵件至support@kxware.com,郵件名“KXGEM公開課報名_<姓名>”注明以下信息

• 姓名
• 聯(lián)系電話
• 公司名稱
• 公司郵箱

2. 收到報名郵件后，工作人員將在24小時內(nèi)確認(rèn)席位。報名結(jié)果以確認(rèn)郵件為主。

報名截止：4月10日18:00或滿額即止

特別提示

現(xiàn)場將開放5個「免費技術(shù)咨詢」名額，攜帶項目案例更有可能獲得定制方案哦！

這個春天，讓我們用技術(shù)碰撞火花！4月15日，上海見！

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原文地址：SEMI中國信息控制標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會2024夏季會議在上海順利召開?

由SEMI中國主辦的SEMI中國信息控制標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會夏季會議于2024年7月5日在上海順利召開。

本次會議上，來自珂矽、萬物云、上揚軟件、中微半導(dǎo)體、安靠、矽美科、上微、精卓等20余位委員及專家代表參加了會議。

會議過程中，經(jīng)委員會討論，批準(zhǔn)由中微半導(dǎo)體主導(dǎo)的Doc.7139行項修訂：工藝管理規(guī)范及工藝管理規(guī)范SECS-II協(xié)議及Doc.7140行項修訂：控制作業(yè)管理規(guī)范及控制作業(yè)管理規(guī)范SECS-II協(xié)議進(jìn)入全球投票。

本次會議上，SEMI中國為 “SEMI E87-0324, E87.1-0324/ SEMI E87-0524, E87.1-0524，行項修訂：晶舟管理規(guī)范 (CMS) 及晶舟管理規(guī)范的SECS-II協(xié)議規(guī)范的主編單位珂矽信息技術(shù) (上海) 有限公司及各參編單位頒發(fā)標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布證書。

SEMI中國信息控制標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會是中國集成電路產(chǎn)業(yè)與國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)合作的重要平臺，SEMI中國信控標(biāo)委會自2021年11月成立以來，已成功召開6次標(biāo)委會，標(biāo)準(zhǔn)委員會目前下設(shè)兩個工作小組，先進(jìn)后道工廠集成 工作組（ABFI TF）及 GEM300 標(biāo)準(zhǔn)工作組 (GEM300 TF)。? ABFI 工作組已有1份標(biāo)準(zhǔn)修訂已正式發(fā)布，GEM300工作組目前有2份標(biāo)準(zhǔn)修訂正在進(jìn)行中。

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PV2的歷史

光伏產(chǎn)業(yè)關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)化IT(信息技術(shù))接口的需求的討論始于2006年，目標(biāo)是該接口使“復(fù)雜的質(zhì)量保證、可追溯性和先進(jìn)的過程控制策略”成為可能。2007年9月，歐洲SEMI EIS TF（歐洲設(shè)備接口規(guī)范工作組）啟動，開始評估利用現(xiàn)有的技術(shù)和最合適的方式對光伏設(shè)備通信接口進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。2008年，工作組選擇了SEMI E30 GEM標(biāo)準(zhǔn)作為基礎(chǔ)技術(shù)，提出了新的光伏設(shè)備通信接口(PVECI)標(biāo)準(zhǔn)來規(guī)范如何實現(xiàn)在光伏設(shè)備上實施GEM標(biāo)準(zhǔn)。2009年6月，SEMI成員正式批準(zhǔn)了SEMI 標(biāo)準(zhǔn)PV2 作為光伏設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)通訊接口。

PV2的主要內(nèi)容

• PV2 (PVECI) 當(dāng)前版本為PV2-0709。標(biāo)準(zhǔn)中定義了一個SEMI E37 (HSMS)、SEMI E5 (SECS-II)、SEMI 30 (GEM)、SEMI E148和SEMI E10 (OEE)標(biāo)準(zhǔn)的框架。
• 與半導(dǎo)體制造中使用的版本相比，限制和簡化了光伏行業(yè)的GEM/SECS應(yīng)用場景。
• 因為在生產(chǎn)制造中實施PV2標(biāo)準(zhǔn)可以大大降低集成成本，因此許多將光伏產(chǎn)品納入其產(chǎn)品組合的半導(dǎo)體設(shè)備制造商已經(jīng)開始利用現(xiàn)有的SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)來實現(xiàn)設(shè)備連接。

(SEMI PV2-0709: 光伏設(shè)備結(jié)構(gòu)示例)

PV 2 與GEM的區(qū)別

Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標(biāo)準(zhǔn)，支持SEMI E30 GEM所有功能， 同時兼容PV2 標(biāo)準(zhǔn)。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系support@kxware.com。

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KTM代表了我們對于珂矽半導(dǎo)體設(shè)備框架軟件產(chǎn)品的愿景和期望，我們希望能夠通過對KTM功能的不斷完善改進(jìn)，為您的團隊帶來更多的價值。感謝您一直以來的支持和理解！我們將會繼續(xù)不懈努力，提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)。如果您有任何問題或建議，隨時可以通過 郵箱 support@kxware.com 聯(lián)系我們。請持續(xù)關(guān)注我們的新聞動態(tài)和更新，我們期待與您一起體驗KTM的新篇章。

再次感謝您的支持！

珂矽信息技術(shù)（上海）有限公司

2023年10月27日

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本篇文章將圍繞Carrier ID 和 Carrier SlotMap的驗證，闡述Carrier ID和Carrier SlotMap的狀態(tài)，驗證方法，以及衍生出的基本流程場景。

1.??? 驗證信息

Carrier ID 和 Carrier SlotMap.

2.??? 驗證執(zhí)行者

設(shè)備，或者工廠主機。

3.??? 四種驗證方式：

• Host-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
• Equipment-Based Carrier ID Verification + Host-Based SlotMap Verification
• Host-Based Carrier ID Verification + Equipment-Based SlotMap Verification
• Equipment -Based Carrier ID Verification + Equipment -Based SlotMap Verification

通常每個工廠會根據(jù)工廠本身的自動化策略，在以上四種驗證方式組合中選擇一種，但并不能排除工廠會在同一臺設(shè)備使用一種以上驗證組合。到這里，很多人就會有同樣的疑問：工廠主機和設(shè)備是通過什么來約定使用哪種驗證方式呢？答案是：服務(wù)命令。

首先，驗證的核心是將從工廠MES獲取的Carrier信息與從Carrier 本身讀取到的信息進(jìn)行對比。那么驗證的執(zhí)行者就是首先同時掌握以上兩方信息的主體。設(shè)備從Carrier讀到的信息以事件的方式發(fā)送給工廠主機（S6F11）,? 工廠主機從MES獲取的Carrier信息則是通過Carrier 服務(wù)命令發(fā)送給設(shè)備(S3F17)。根據(jù)工廠主機下達(dá)S3F17服務(wù)命令的不同時間點和命令內(nèi)容，工廠主機和設(shè)備可以動態(tài)的決定由哪一方來完成Carrier ID和 SlotMap 的驗證。

?我們以第一種驗證方式為例，梳理一下流程：

1. 首先，設(shè)備在沒有收到任何Carrier 服務(wù)命令的情況下，檢測到Carrier的到達(dá)。
2. 設(shè)備從Carrier上安裝的Tag中讀取到Carrier ID。
3. 設(shè)備將讀到的Carrier ID上報給工廠主機。
4. 工廠主機向MES 查詢該設(shè)備及裝載臺上調(diào)度指定的Carrier 信息。
5. 工廠主機驗證Carrier ID。一旦匹配，向設(shè)備發(fā)送S3F17 ProceedWithCarrier。
6. 設(shè)備接受到S3F17 ProceedWithCarrier，認(rèn)為Carrier ID 已經(jīng)得到確認(rèn)。繼續(xù)執(zhí)行Carrier SlotMap的掃描。
7. 設(shè)備將讀到的SlotMap上報給工廠主機。
8. 工廠主機向MES 查詢該設(shè)備及裝載臺上調(diào)度指定的Carrier Slot Map信息，并與設(shè)備上報SlotMap進(jìn)行比對。一旦匹配，設(shè)備發(fā)送S3F17 ProceedWithCarrier。
9. 設(shè)備接受到S3F17 ProceedWithCarrier，認(rèn)為Carrier SlotMap 已經(jīng)得到確認(rèn)。

至此 E87 Carrier的驗證流程結(jié)束?？梢钥吹?，在此流程中，工廠主機使用了兩次ProceedWithCarrier指令來對Carrier ID和 Slot Map進(jìn)行驗證。關(guān)于其他幾種驗證方式，篇幅所限，我們列舉出了使用的服務(wù)指令，不做詳細(xì)分解介紹。如果想要了解更多細(xì)節(jié)，歡迎聯(lián)系我們。

4.??? Carrier驗證中使用的服務(wù)命令

• Host-based Carrier ID & Host-based Slot map驗證
• ProceedWithCarrer（僅包含Carrier ID，不包含SlotMap）
• ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
• Host-based Carrier ID & Equipment-based Slot map驗證
• ProceedWithCarrer（包含Carrier ID 及SlotMap信息）
• Equipment-based Carrier ID & Host-based Slot map 驗證
• Bind/CarrierNotification（包含Carrier ID，但不包含SlotMap信息）
• ProceedWithCarrer (包含Carrier ID)
• Equipment-based Carrier ID & Equipment-based Slot map 驗證
• Bind/CarrierNotification （包含Carrier ID 及SlotMap信息）.

Kxware開發(fā)的KXGEM300產(chǎn)品，為300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的， 完整的GEM300接口解決方案。KXGEM300 實現(xiàn)了SEMI E40/E94/E84/E87/E90/E116/E157等標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)建支持各種E87驗證場景。KXGEM300可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。

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1. SECS GEM手冊的更新往往跟不上設(shè)備軟件的升級，信息更新滯后；
2. SECS GEM 手冊沒有統(tǒng)一的格式，通常為PDF或Word文檔格式，需要開發(fā)人員閱讀后獲取更新信息；

為了解決這些問題，SEMI標(biāo)準(zhǔn)的修訂者們也在對標(biāo)準(zhǔn)持續(xù)做完善。除了發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)SEMI E172 （SEDD, SECS Equipment Data Dictionary），將設(shè)備的特性描述格式標(biāo)準(zhǔn)化。此外，SECS GEM標(biāo)準(zhǔn)陸續(xù)增加了一系列接口消息，使得工廠可以隨時通過向設(shè)備發(fā)送指令，查詢到設(shè)備當(dāng)前的特性定義。本篇文章接下來的內(nèi)容，整理了自1982年至今，SEMI 標(biāo)準(zhǔn)中定義的設(shè)備自我描述接口功能的進(jìn)化歷程。

E005-00-0082 版本接口

• S5F5 (List Alarm Request) / S5F6 (List Alarm Data)
• S7F19 (Current EPPD Request) / S7F20 (Current EPPD Data)

E005-00-0092 版本新增接口

• S1F11 (Status Variable NameList Request) / S1F12 Status Variable NameList Reply
• S2F29 (Equipment Constant NameList Request) / S2F30 (Equipment Constant NameList)
• S5F7 (List Enabled Alarm Request) / S5F8 (List Enabled Alarm Data)

E005-00-0813版本新增接口

• S1F21 (Data Variable NameList Request) / S1F22 (Data Variable NameList Data)
• S1F23 (Collection Event NameList Request) / S1F24 (Collection Event NameList Data)

E005-00-0821 版本新增接口

• S2F51 (Request List of Report Identifiers) / S2F52 (Return List of Report Identifiers)
• S2F53 (Request List of Report Definitions) / S2F54 (Return List of Report Definitions)
• S2F55 (Request Event Report Links) / S2F56 (Return Event Report Links)
• S2F57 (Request List of Enabled Events) / S2F58 (Return List of Enabled Events)
• S2F59 (Request Selected Spooling Stream and Functions) / S2F60 (Return Selected Spooling Stream and Functions)
• S2F61 (Request List of Trace Identifiers) / S2F62 (Return List of Trace Identifiers)
• S2F63 (Request Trace Definitions) / S2F63 (Return Trace Definitions)

Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標(biāo)準(zhǔn)，支持SEMI E30 GEM所有功能。支持E005-00-0821 標(biāo)準(zhǔn)中包含的所有設(shè)備端自我描述接口。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。

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一．??????? GEM控制狀態(tài)模型

控制狀態(tài)機(Control State Model)定義了主機和設(shè)備之間的協(xié)作級別。一臺設(shè)備可能的控制狀態(tài)包括：

• ON-LINE
  • Local
  • Remote
• OFF-LINE
  • Host Off-Line
  • Equipment Off-Line
  • Attempt On-Line

(摘自：SEMI E30 Control State Model Diagram）

二．??????? GEM各控制狀態(tài)下的設(shè)備行為

OFF-LINE

設(shè)備控制狀態(tài)處于OFF-LINE狀態(tài)時，設(shè)備的操作由操作員在操作員控制臺進(jìn)行，消息傳輸是可能的。但是絕大多數(shù)用于狀態(tài)查詢和遠(yuǎn)程操作的消息傳遞都將收到嚴(yán)格限制。特點如下：

• 設(shè)備只應(yīng)響應(yīng)和處理收到的S1F13和S1F17主消息。其余均以SxF0 回復(fù)，x為收到主消息的Stream編號。
• 設(shè)備只應(yīng)處理收到的S1F14和S1F2次消息，其余均應(yīng)丟棄。
• 設(shè)備只應(yīng)發(fā)送S1F13、S9Fy和S1F1主消息。
• 設(shè)備只應(yīng)發(fā)送S1F14和S1F18 次消息。
• 不會有消息進(jìn)入Spooling。

ON-LINE LOCAL

設(shè)備控制狀態(tài)處于ON-LINE LOCAL狀態(tài)時，設(shè)備的運行由操作人員的直接動作來實現(xiàn)。所有操作指令應(yīng)可在設(shè)備的本地操作員控制臺輸入。同時工廠主機（Host）具有以下能力和限制:

• 主機禁止使用引起物理移動或啟動處理的遠(yuǎn)程命令。
• 在工藝處理過程中，禁止主機修改任何影響該工藝的設(shè)備常數(shù)。其他設(shè)備常數(shù)可以在加工過程中變化。當(dāng)沒有工藝進(jìn)行時，主機應(yīng)能修改所有可用的設(shè)備常數(shù)。
• 主機應(yīng)能夠上傳和下載配方，只要該操作不影響當(dāng)前正在執(zhí)行的任何配方。
• 主機應(yīng)能夠配置數(shù)據(jù)自動上報功能，包括報警（Alarm）， 事件（Event），及追蹤（Trace）。
• 主機應(yīng)能夠查詢設(shè)備的數(shù)據(jù)，包括狀態(tài)變量（Status Variable）， 設(shè)備常量（Equipment Constant），事件報告（Event Report），配方列表（EPPD），報警列表及報警狀態(tài)。
• 主機和設(shè)備應(yīng)均能夠執(zhí)行GEM中定義的終端服務(wù)（Terminal Service）。

ON-LINE REMOTE

設(shè)備控制狀態(tài)處于ON-LINE LOCAL狀態(tài)時，工廠主機應(yīng)能夠通過通信接口執(zhí)行必要的遠(yuǎn)程命令，以自動化的方式在整個過程周期中操作設(shè)備。處于REMOTE狀態(tài)時，設(shè)備不應(yīng)限制工廠主機的遠(yuǎn)程操作。

• 應(yīng)允許對設(shè)備進(jìn)行配置，在特定的非緊急程序中限制操作人員的本地操作。以確保設(shè)備本地操作不會干擾設(shè)備的自動生產(chǎn)和主機的遠(yuǎn)程控制。
• 控制功能應(yīng)由主機與本地操作員進(jìn)行一定程度的共享。至少，操作人員應(yīng)該有能力改變控制狀態(tài)，啟動緊急停止和中斷處理（ 例如，停止、中止或暫停）。

三．??????? 控制狀態(tài)切換的觸發(fā)條件

ON-LINE/LOCAL -> ON-LINE/REMOTE

GEM中規(guī)定，當(dāng)操作人員在用戶界面上發(fā)起切換到ON-LINE/REMOTE狀態(tài)的請求，可以觸發(fā)此狀態(tài)變化。但目前，相當(dāng)數(shù)量的工廠要求設(shè)備支持工廠主機通過遠(yuǎn)程命令在LOCAL和REMOTE之間進(jìn)行狀態(tài)切換。

ON-LINE/REMOTE -> ON-LINE/LOCAL

GEM中規(guī)定，當(dāng)操作人員在用戶界面上發(fā)起切換到ON-LINE/REMOTE狀態(tài)的請求，可以觸發(fā)此狀態(tài)變化。但目前，相當(dāng)數(shù)量的工廠要求設(shè)備支持工廠主機通過遠(yuǎn)程命令在LOCAL和REMOTE之間進(jìn)行狀態(tài)切換。

ON-LINE -> OFF-LINE/Equipment OFF-LINE

操作人員用戶界面上發(fā)起切換到OFF-LINE的請求。

ON-LINE -> OFF-LINE/Host OFF-LINE

工廠主機通過S1F15消息發(fā)起設(shè)備切換到OFF-LINE的請求。

OFF-LINE/Equipment OFF-LINE -> ON-LINE

操作人員用戶界面上發(fā)起切換到OFF-LINE的請求，設(shè)備切換到OFF-LINE/Attempt ON-LINE，并向工廠主機發(fā)送S1F1消息，如果無通訊錯誤并收到S1F2回復(fù)。狀態(tài)成功切換到ON-LINE的默認(rèn)子狀態(tài)。

OFF-LINE/Host OFF-LINE -> ON-LINE

工廠主機通過S1F17消息發(fā)起設(shè)備切換到ON-LINE的請求。

Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標(biāo)準(zhǔn)，支持SEMI E30 GEM所有功能。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。

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一． GEM通訊狀態(tài)模型

通訊狀態(tài)機(Communication State Model)規(guī)范建立通訊的規(guī)則。下圖摘自GEM標(biāo)準(zhǔn)，定義了設(shè)備GEM接口在應(yīng)用層的通訊狀態(tài)模型。

（摘自：SEMI E30 Figure 4 Communication State Model Diagram）

狀態(tài)包括：

• DISABLED：通訊功能禁用（關(guān)閉）
• ENABLED： 通訊功能啟用（打開）
  • NOT COMMUNICATING： 未通訊
    • HOST-INITIATED CONNECT：Host啟動連接
      • WAIT CR FROM HOST： 等待主機連接請求
    • EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：設(shè)備啟動連接
      • WAIT DELAT：等待延遲
      • WAIT CRA： 等待連接確認(rèn)
    • COMMUNICATING： 通訊中

二． GEM設(shè)備各通訊狀態(tài)下的行為

DISABLED

設(shè)備與主機通訊關(guān)閉。在這種狀態(tài)下，與主機的SECS-II通信不存在。如果操作人員從ENABLED切換到DISABLED，所有SECS-II通信應(yīng)立即停止。任何排隊發(fā)送的消息將被丟棄，所有對任何開放的交易和對話的進(jìn)一步操作將被終止。

ENABLED

設(shè)備與主機通訊打開，包括COMMUNICATING和NOT COMMUNICATING兩個子狀態(tài)。無論何時啟用通信，無論是在系統(tǒng)初始化期間還是通過操作人員的選擇，就會首先進(jìn)入 NOT COMMUNICATING的子狀態(tài)，直到正式建立通信。

ENABLED/NOT COMMUNICATING

當(dāng)通訊處于NOT COMMUNICATING狀態(tài)時，除S1F13、S1F14和S9Fx外，不得發(fā)送其他任何消息。設(shè)備應(yīng)丟棄除S1F13或S1F14(建立通信確認(rèn))以外的任何來自主機的消息。它還應(yīng)定期嘗試通過發(fā)出S1,F13來建立與主機的通信，直到通信建立成功。NOT COMMUNICATING 狀態(tài)有兩個并發(fā)的子狀態(tài)，HOST-INITIATED CONNECT和EQUIPMENT- INITIATED CONNECT，

NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：

該狀態(tài)有WAIT CRA 和 WAIT Delay 兩個子狀態(tài)。在任何進(jìn)入NOT COMMUNICATING狀態(tài)時，只要EQUIPMENT-INITIATED CONNECT第一次變?yōu)榛顒訝顟B(tài)，就會發(fā)生向WAIT CRA的轉(zhuǎn)換，CommDelay定時器被設(shè)置為超時，并立即嘗試發(fā)送S1,F13。

? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT CRA-已發(fā)送建立通信請求。?設(shè)備等待主機確認(rèn)請求。

? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT DELAY-發(fā)生連接事務(wù)失敗。?已初始化CommDelay 定時器。?設(shè)備開始等待定時器超時。

NOT COMMUNICATING /HOST-INITIATED CONNECT：

該狀態(tài)描述了在NOT COMMUNICATING狀態(tài)下，主機發(fā)起的S1,F13的響應(yīng)行為。

? NOT COMMUNICATING/HOST-INITIATED CONNECT/WAIT CR FROM HOST-設(shè)備等待主機發(fā)出S1、F13。?如果收到S1,F13，則嘗試發(fā)送COMMACK = 0的S1,F14。

ENABLED/COMMUNICATING

通信已建立完成。設(shè)備可以接收來自主機的任何消息，包括S1、F13。 當(dāng)設(shè)備進(jìn)行通信時，應(yīng)保持與主機的SECS通信。

三． GEM各通訊狀態(tài)之間切換的觸發(fā)條件

通訊狀態(tài)機的變化中，只有ENABLED和DISABLED是需要由操作人員，通過啟動/關(guān)閉軟件或在軟件界面上發(fā)起開啟/關(guān)閉 GEM功能操作來實現(xiàn)。其余狀態(tài)的變化，是由設(shè)備和工廠主機之間的消息交互實現(xiàn)的。下列為常見其他狀態(tài)到COMMUNICATING狀態(tài)的觸發(fā)條件。

1. DISABLED->COMMUNICATING

操作人員在設(shè)備端啟用GEM功能。

2. WAIT CR FROM HOST->COMMUNICATING

設(shè)備收到主機發(fā)出的S1F13消息，回復(fù)S1F14，并進(jìn)入COMMUNICATING狀態(tài)。

3. WAIT CRA ->COMUNICATING.

設(shè)備發(fā)出S1F13，收到主機回復(fù)消息S1F14. 進(jìn)入COMMUNICATING狀態(tài)。

4. WAIT DELAY->COMMUNICATING.

設(shè)備等待CommDelay 定時器觸發(fā)，發(fā)出S1F13消息，進(jìn)入WAIT CRA狀態(tài)。

Kxware開發(fā)的KXGEM產(chǎn)品，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備提供了一套成熟的，全功能的GEM接口解決方案。符合SEMI E5/E30/E37標(biāo)準(zhǔn)，支持SEMI E30 GEM所有功能。 KXGEM可跨平臺運行在Windows, Linux, 安卓等操作系統(tǒng)中。支持多HSMS 端口及多設(shè)備實例。集成方式靈活，簡便，兼容性強。

如果需要了解KXGEM的功能及特性，請聯(lián)系Support@kxware.com。

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• 對象服務(wù)標(biāo)準(zhǔn) OSS（E39）
• 晶圓追蹤標(biāo)準(zhǔn) STS（E90）
• 自動化作業(yè)管理追蹤 PJM（E40），CJM（E94）
• 設(shè)備硬件模塊運行效率的管理和追蹤 EPT（E116）
• 全自動Carrier管理標(biāo)準(zhǔn) CRM（E87)
• 物料運輸?shù)木A傳送標(biāo)準(zhǔn)，并行IO硬件通信接口定義 PIO（E84）
• 生產(chǎn)制程關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行追蹤監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn) MPT（E157）

哪一類設(shè)備制造商適合使用KXGEM300 SDK？

設(shè)備制造商已有自己的設(shè)備控制軟件，希望以較少的研發(fā)成本和較短時間內(nèi)對設(shè)備軟件進(jìn)行改造實現(xiàn)GEM300標(biāo)準(zhǔn)。我們?yōu)槊恳晃籏XGEM300軟件產(chǎn)品使用客戶定制開發(fā)培訓(xùn)教程，在培訓(xùn)中以客戶實際設(shè)備為實例，完成GEM300各個SEMI標(biāo)準(zhǔn)的集成操作演示和測試。

KXGEM300使得設(shè)備制造商的軟件開發(fā)人員不需要精通一系列GEM300標(biāo)準(zhǔn)，就能開發(fā)出滿足工廠自動化生產(chǎn)要求的GEM300設(shè)備操作規(guī)范和通信接口。

基于KXGEM300 SDK產(chǎn)品，珂矽已協(xié)助多個國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商完成了GEM300軟件集成，包括單片晶圓工藝處理，晶圓封裝，晶圓量測等設(shè)備。 運行KXGEM300的半導(dǎo)體設(shè)備已在包括長江存儲，中芯國際等一線工廠運行。

點擊此處鏈接查看KXGEM300產(chǎn)品介紹

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完成的大氣設(shè)備硬件控制邏輯功能塊包括

• PM (Process Module) 工藝腔體
• LP (LoadPort) 晶圓裝載口
• AMHS （Automatic Material Handling System）E84 自動物料搬運接口
• ATM Robot (Atmosphere Robot) 大氣機械手
• EFEM (Equipment Front End Module) 設(shè)備前端模塊
• MFC (Mass Flow Controller) 流量計
• Gauge 壓力計
• Buffer 緩沖腔
• Motion Controller 運動控制器
• RFID Reader 晶圓盒ID讀碼器
• TC （Temperature Controller） 溫度控制器
• Hardware Messenger 通用硬件通信模塊

完成各種大氣設(shè)備調(diào)度場景

• 針對晶圓的單手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的多機器人多手臂多腔設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓的槽式設(shè)備調(diào)度
• 針對晶圓盒的多機器人設(shè)備調(diào)度
• 針對多個晶圓盒站點位的Internal Buffer類型設(shè)備調(diào)度

提供通用的大氣工藝腔菜單執(zhí)行引擎模版

• 無需編寫代碼即完成工藝配方程序的創(chuàng)建和保存
• 提供通用的工藝配方文件解析代碼
• 無需編寫代碼自動支持SEMI SECS Stream 7 Format Recipe上傳、下載
• 提供壓力控制，閥門控制，流量計，溫度控制的漸變、跳變、條件跳轉(zhuǎn)等常見工藝控制流程
• 通過軟件互鎖實現(xiàn)異常情況下的安全保護(hù)操作
• 自動數(shù)據(jù)監(jiān)測、記錄、存檔，支持高頻工藝數(shù)據(jù)存儲
• 內(nèi)建SEMI E157(MPT)工藝程序運行狀態(tài)上報，配合工廠FDC完成工藝數(shù)據(jù)工廠監(jiān)控

大氣晶圓傳送互鎖

• 三重互鎖設(shè)計確保晶圓傳送發(fā)生硬件碰撞事故
• 預(yù)留軟件互鎖接口配合支持硬件互鎖的Robot Controller實現(xiàn)硬件安全互鎖
• 無需修改軟件代碼即可實現(xiàn)互鎖規(guī)則調(diào)整

靈活的調(diào)度器設(shè)計方案

大氣設(shè)備往往對于設(shè)備產(chǎn)能（WPH）有著嚴(yán)格要求，為方便設(shè)備制造商實現(xiàn)各種不同情況下的調(diào)度邏輯，珂矽設(shè)計了獨特的任務(wù)執(zhí)行引擎（Task Work Engine），并將設(shè)備常見調(diào)度動作進(jìn)行了封裝，支持兩種傳統(tǒng)的調(diào)度實現(xiàn)方法：（a）Planned Scheduling規(guī)劃式調(diào)度， （b）State Driven Scheduling狀態(tài)驅(qū)動式調(diào)度。 使用者可以自行采用方式（a）或（b）或混合方式實現(xiàn)設(shè)備的單獨或多步調(diào)度規(guī)劃。

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