半導體設備控制軟件框架
Kxware Tool Master (KTM)
隨著中國半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對國產(chǎn)半導體設備控制軟件平臺的需求日益增長。KTM半導體設備控制軟件平臺是集成了先進的控制算法、數(shù)據(jù)處理、用戶界面和網(wǎng)絡通信技術的軟件系統(tǒng)，旨在為半導體制造設備提供高效、穩(wěn)定、智能化的控制解決方案。
1. 高度集成化
KTM半導體設備控制軟件平臺采用模塊化設計，支持多種半導體制造工藝，通過高度集成化的控制算法實現(xiàn)精確控制和工藝優(yōu)化。
2. 實時數(shù)據(jù)處理
平臺具備強大的實時數(shù)據(jù)處理能力，能夠實時采集、分析和處理設備運行數(shù)據(jù)。通過實時監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析，及時發(fā)現(xiàn)設備異常，提高設備運行效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
3. 用戶友好的操作界面
我們注重用戶體驗，提供遵循SEMI E95簡潔直觀的操作界面。用戶可以輕松配置工藝參數(shù)、查看設備狀態(tài)、進行故障診斷和維護操作，降低操作難度，提高工作效率。
4. 提供多種工藝控制模式
- 基于上位機開發(fā)的工藝控制引擎
- 基于下位機（PLC、RTOS）開發(fā)的工藝控制引擎
- 基于上位機和下位機雙控體系的工藝控制引擎
5. 豐富的數(shù)據(jù)記錄和診斷
- 實時采集設備運行數(shù)據(jù)
- 支持數(shù)據(jù)存儲、查詢和導出功能
- 提供數(shù)據(jù)分析工具，如趨勢圖、直方圖
- 多種形式的日志記錄和歷史查詢
6. 提供多樣化的硬件驅動庫
參考以下鏈接查看目前支持的硬件驅動庫列表：
7. 完全遵循 SECS/GEM, GEM300, EDA (Interface-A) SEMI 標準
【SECS/GEM SEMI Standards】
- SEMI E5 – SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)
- SEMI E30 – Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
- SEMI E37 – Specification for High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services
【GEM300 SEMI Standards】
- SEMI E39 – Specification for Object Services: Concepts, Behavior, and Services (OSS)
- SEMI E40 – Specification for Processing Management
- SEMI E87 – Specification for Carrier Management (CMS)
- SEMI E90 – Specification for Substrate Tracking
- SEMI E94 – Specification for Control Job Management
- SEMI E116 – Specification for Equipment Performance Tracking
【Interface A SEMI Standards】
- SEMI E120 – Specification for the Common Equipment Model (CEM)
- SEMI E125 – Specification for Equipment Self Description (EqSD)
- SEMI E132 – Specification for Client Authentication & Authorization
- SEMI E134 – Specification for Data Collection Management
【Other SEMI Standards】
- SEMI E84 – Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
- SEMI E95 – Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
- SEMI E157 – Specification for Module Process Tracking
- SEMI E172 – Specification for SECS Equipment Data Dictionary (SEDD)
- SEMI E128 – Specification For XML Message Structures
- SEMI E138 – XML Semiconductor Common Components
- SEMI E164 – Specification for EDA Common Metadata
- SEMI E167 – Specification for Equipment Energy Saving Mode Communication (EESM)
- SEMI E175 – Specification for Subsystem Energy Saving Mode Communication (SESMC)
8. 應用場景
KTM半導體設備控制軟件平臺廣泛應用于半導體制造、封裝測試、LED生產(chǎn)等領域，適用于各種半導體設備，如刻蝕設備、清洗設備、爐管設備、分片設備、化鍍設備、離子注入機、薄膜沉積設備等?？蛻粼O備進入國內(nèi)各類前道、后道、封測等工廠，通過SECS/GEM，GEM300，Interface-A等標準互聯(lián)接口與工廠CIM系統(tǒng)對接實現(xiàn)自動化生產(chǎn)運行。
9. 服務和技術支持
我們提供完善的售后服務和技術支持，包括：
- 企業(yè)微信在線技術支持
- 定期軟件升級和維護
- 定制化開發(fā)和技術咨詢
- 協(xié)助分析解決現(xiàn)場設備軟件問題
- 軟件開發(fā)培訓和項目開發(fā)指導
KTM半導體設備控制軟件平臺致力于為半導體制造企業(yè)提供高效、穩(wěn)定、智能化的控制解決方案。我們不斷追求技術創(chuàng)新，為國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻力量。如需進一步了解產(chǎn)品詳情或定制開發(fā)需求，請聯(lián)系sales@kxware.com獲取更多信息。