對于絕大多數(shù)半導體設備現(xiàn)場的操作人員而言，設備的通訊功能只有Enable/Disable 或者 打開/關閉的開關兩種狀態(tài)，當遇到其他狀態(tài)時，就無法做出正確的判斷和處理。這篇文章將會介紹SEMI E30 GEM 標準中的通訊狀態(tài)機的各種狀態(tài)，狀態(tài)下的設備行為和狀態(tài)切換的條件。
一． GEM通訊狀態(tài)模型
通訊狀態(tài)機(Communication State Model)規(guī)范建立通訊的規(guī)則。下圖摘自GEM標準，定義了設備GEM接口在應用層的通訊狀態(tài)模型。
（摘自：SEMI E30 Figure 4 Communication State Model Diagram）
狀態(tài)包括：
- DISABLED：通訊功能禁用（關閉）
- ENABLED： 通訊功能啟用（打開）
- NOT COMMUNICATING： 未通訊
- HOST-INITIATED CONNECT：Host啟動連接
- WAIT CR FROM HOST： 等待主機連接請求
- EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：設備啟動連接
- WAIT DELAT：等待延遲
- WAIT CRA： 等待連接確認
- COMMUNICATING： 通訊中
- HOST-INITIATED CONNECT：Host啟動連接
- NOT COMMUNICATING： 未通訊
二． GEM設備各通訊狀態(tài)下的行為
DISABLED
設備與主機通訊關閉。在這種狀態(tài)下，與主機的SECS-II通信不存在。如果操作人員從ENABLED切換到DISABLED，所有SECS-II通信應立即停止。任何排隊發(fā)送的消息將被丟棄，所有對任何開放的交易和對話的進一步操作將被終止。
ENABLED
設備與主機通訊打開，包括COMMUNICATING和NOT COMMUNICATING兩個子狀態(tài)。無論何時啟用通信，無論是在系統(tǒng)初始化期間還是通過操作人員的選擇，就會首先進入 NOT COMMUNICATING的子狀態(tài)，直到正式建立通信。
ENABLED/NOT COMMUNICATING
當通訊處于NOT COMMUNICATING狀態(tài)時，除S1F13、S1F14和S9Fx外，不得發(fā)送其他任何消息。設備應丟棄除S1F13或S1F14(建立通信確認)以外的任何來自主機的消息。它還應定期嘗試通過發(fā)出S1,F13來建立與主機的通信，直到通信建立成功。NOT COMMUNICATING 狀態(tài)有兩個并發(fā)的子狀態(tài)，HOST-INITIATED CONNECT和EQUIPMENT- INITIATED CONNECT，
NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT：
該狀態(tài)有WAIT CRA 和 WAIT Delay 兩個子狀態(tài)。在任何進入NOT COMMUNICATING狀態(tài)時，只要EQUIPMENT-INITIATED CONNECT第一次變?yōu)榛顒訝顟B(tài)，就會發(fā)生向WAIT CRA的轉(zhuǎn)換，CommDelay定時器被設置為超時，并立即嘗試發(fā)送S1,F13。
? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT CRA-已發(fā)送建立通信請求。?設備等待主機確認請求。
? NOT COMMUNICATING/EQUIPMENT-INITIATED CONNECT/WAIT DELAY-發(fā)生連接事務失敗。?已初始化CommDelay 定時器。?設備開始等待定時器超時。
NOT COMMUNICATING /HOST-INITIATED CONNECT：
該狀態(tài)描述了在NOT COMMUNICATING狀態(tài)下，主機發(fā)起的S1,F13的響應行為。
? NOT COMMUNICATING/HOST-INITIATED CONNECT/WAIT CR FROM HOST-設備等待主機發(fā)出S1、F13。?如果收到S1,F13，則嘗試發(fā)送COMMACK = 0的S1,F14。
ENABLED/COMMUNICATING
通信已建立完成。設備可以接收來自主機的任何消息，包括S1、F13。 當設備進行通信時，應保持與主機的SECS通信。
三． GEM各通訊狀態(tài)之間切換的觸發(fā)條件
通訊狀態(tài)機的變化中，只有ENABLED和DISABLED是需要由操作人員，通過啟動/關閉軟件或在軟件界面上發(fā)起開啟/關閉 GEM功能操作來實現(xiàn)。其余狀態(tài)的變化，是由設備和工廠主機之間的消息交互實現(xiàn)的。下列為常見其他狀態(tài)到COMMUNICATING狀態(tài)的觸發(fā)條件。
- DISABLED->COMMUNICATING
操作人員在設備端啟用GEM功能。
- WAIT CR FROM HOST->COMMUNICATING
設備收到主機發(fā)出的S1F13消息，回復S1F14，并進入COMMUNICATING狀態(tài)。
- WAIT CRA ->COMUNICATING.
設備發(fā)出S1F13，收到主機回復消息S1F14. 進入COMMUNICATING狀態(tài)。
- WAIT DELAY->COMMUNICATING.
設備等待CommDelay 定時器觸發(fā)，發(fā)出S1F13消息，進入WAIT CRA狀態(tài)。
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