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來源：SEMI中國????2021-11-18

由SEMI中國主辦的“SEMI信息控制標準及應用技術研討會”于2021年11月16日在上海長三角資本市場服務基地舉行。

由SEMI中國主辦的“SEMI信息控制標準及應用技術研討會”于2021年11月16日在上海長三角資本市場服務基地舉行。

會議由格創(chuàng)東智科技有限公司首席智能制造顧問王錦主持，來自矽美科、珂矽信息技術、中微半導體、哥瑞利軟件、上揚軟件諸多位專家做報告分享，現(xiàn)場與會嘉賓對SEMI 標準應用及最新進展展開火熱交流。

矽美科 副總裁 Alan Weber

矽美科副總裁Alan Weber就EDA標準的工廠應用及效益進行了探討。早在2005年開始Global Foundries, 東芝，臺積電，聯(lián)電，三星，紛紛開始采用 InterfaceA FreezeⅠ標準，2015年之后海力士，英飛凌、華邦電子、TPSCo、德州儀器開始采用 Interface A FreezeⅡ 標準。Alan 介紹了目前業(yè)界基于EDA數(shù)據(jù)開發(fā)的各項應用及這些應用所帶來的ROI （投資回報率）。

珂矽 執(zhí)行副總經(jīng)理 劉波

珂矽信息技術（上海）有限公司執(zhí)行副總經(jīng)理劉波介紹SEMI設備基本通訊標準層次結(jié)構(gòu)。演講內(nèi)容從標準出發(fā)，梳理了目前半導體生產(chǎn)加工過程中用到的主要SECS GEM及GEM300 通訊標準。GEM標準是半導體自動化生產(chǎn)制造的基本行為規(guī)范，加快生產(chǎn)制造設備與工廠的整合過程，也是泛半導體行業(yè)實現(xiàn)智能制造和工業(yè)4.0的關鍵技術。GEM300標準是所有300mm晶圓廠都在遵守的行業(yè)標準。

中微半導體 主任級軟件工程師朱秋龍

中微半導體設備（上海）股份有限公司主任級軟件工程師朱秋龍向大家闡述SECS/GEM標準在設備端的實現(xiàn)。中微的設備端工廠自動化模塊(FactoryAutomation，簡稱：FA)主要有兩部分：面向設備端控制系統(tǒng)的控制和處理數(shù)據(jù)功能和面向工廠自動化系統(tǒng)的SECS/GEM功能(Foundation FA)。朱秋龍還介紹了SECS/GEM在200mm和300mm機臺端的運用。

哥瑞利軟件 MES產(chǎn)品總監(jiān) 葉宇暉

上海哥瑞利軟件股份有限公司MES產(chǎn)品總監(jiān)葉宇暉介紹了超高效率MOM（Manufacturing Operations Management）層的方法。MOM層具有系統(tǒng)交互設計低損耗、低維保、共享信息、高效率等諸多優(yōu)點。

珂矽 執(zhí)行副總經(jīng)理 劉波

珂矽信息技術（上海）有限公司執(zhí)行副總經(jīng)理劉波詳細探討了InterfaceA標準介紹及FreezeⅢ的狀態(tài)更新。Interface A系列標準自2005年第一次發(fā)布Freeze版本以來，隨著在先進晶圓廠的不斷實踐摸索中，也在不斷的得到完善。FreezeIII即將到來，更優(yōu)質(zhì)高高效的數(shù)據(jù)采集傳輸方式也為晶圓廠不斷推高良率提供強大助力。

上揚軟件 技術總監(jiān) 甄偉

上揚軟件（上海）有限公司技術總監(jiān)甄偉詳細探討了智能制造創(chuàng)新與應用。上揚myCIM 4.0 MES推動半導體工廠自動化轉(zhuǎn)型、對應國內(nèi)半導體功能需求挑戰(zhàn)。甄偉總智能制造分級建議，設備自動化 Auto1 +Definition+Connectivity+、搬送自動化Auto2+Smart+、派工自動化Auto3+Smart+、過程自動化Modelling+Customized+Smart、自愈可優(yōu)化+ Deep Learning with Big Data +。