SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
- SEMI 標(biāo)準(zhǔn)是半導(dǎo)體、平板顯示器、微機(jī)電系統(tǒng)、光伏和高亮度LED等行業(yè)的自愿技術(shù)協(xié)議。
- SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)項目是SEMI為全球電子設(shè)計和制造行業(yè)提供的一項關(guān)鍵服務(wù)，是對生產(chǎn)制造業(yè)務(wù)問題的技術(shù)解決方案
誰來制定SEMI 標(biāo)準(zhǔn)
- 任何技術(shù)相關(guān)人員都可以加入SEMI標(biāo)準(zhǔn)工作組，并參與SEMI標(biāo)準(zhǔn)的創(chuàng)建。超過5000名行業(yè)志愿者參與了SEMI標(biāo)準(zhǔn)的制定。
- SEMI Staff管理這個過程，提供會議室、公告、記錄，確保會議符合SEMI規(guī)則，并發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)。
SEMI 標(biāo)準(zhǔn)與智能制造
- SEMI 信息控制標(biāo)準(zhǔn)（Information & Control) 是半導(dǎo)體等設(shè)備與工廠CIM系統(tǒng)通訊，實現(xiàn)設(shè)備互聯(lián)，數(shù)據(jù)采集和工廠自動化控制的系列標(biāo)準(zhǔn)。
- SEMI信息控制標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，是半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)制造的基本行為規(guī)范。其中最為主要和常用有包括：
I. SECS/GEM
- 協(xié)議層：SEMI E4 (SECS-I) , E37(HSMS);
- 消息及數(shù)據(jù)層： E5 (SECS-II);
- 行為和場景： E30 (GEM);
II. GEM300: 對設(shè)備行為和場景的更高級的要求，提供更高的復(fù)雜度和靈活度。
- E40 (Process Job Management);
- E94 (Control Job Management);
- E87 (Carrier Management);
- E90 (Substrate Tracking);
- E116 (Equipment Performance Tracking);
- E157 (Module Processing Tracking).
III. Interface A/EDA: 提供即插即用的設(shè)備元數(shù)據(jù)接口，及高密度高質(zhì)量的設(shè)備數(shù)據(jù)。為工廠可以對大數(shù)據(jù)進(jìn)行建模分析提供數(shù)據(jù)源。
- E120 (Commone Equipment Module);
- E125 (Equipment Self-Description);
- E132 (Client Authentication and Authorization);
- E134 (Data Collection Management);
- E164 (EDA Common Metadata);
- E179 (Protocol Buffers Common Components);
IIIV. 其他輔助及特種機(jī)臺相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，例如E172 (SEDD), E173(SMN), E84 (Enhanced PI/O), E109 (Reticle Management)…..
其中，應(yīng)用范圍最為廣泛的是SECS GEM和GEM300系列標(biāo)準(zhǔn)。
